輪廓儀的技術(shù)原理
被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉
移相法(PSI) 高度和干涉相位
f = (2p/l ) 2 h
形貌高度: < 120nm
精度: < 1nm
RMS重復(fù)性: 0.01nm
垂直掃描法
(VSI+CSI)
精度： ?/1000 干涉信號~光程差位置
形貌高度: nm-mm,
精度: >2nm
干涉測量技術(shù)：快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響
以下來自網(wǎng)絡(luò)：
輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。
但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。光電輪廓儀出廠價
輪廓的角度處理:
角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線 。
白光輪廓儀的典型應(yīng)用：
對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
美國輪廓儀售后服務(wù)隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。
輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：
邁爾爾遜
1852-1931
美國物理學(xué)家
曾從事光速的精密測量工作
邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準。
1881年，他發(fā)明了一種用以測量微小長度，折射率和光波波長的干涉儀，邁克爾遜干涉儀。
他和美國物理學(xué)家莫雷合作，進行了***的邁克爾遜-莫雷實驗，否定了以太de 存在，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ)。
由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎。
滿足您需求的輪廓儀
使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求
保護性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀
耐用性更強， 使用無損
可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便
智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)
個性化: 定制化客戶報告模式
更好用戶體驗： 迅捷的售后服務(wù)，個性化應(yīng)用軟件支持
1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準，具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點，達到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率，準確度高，穩(wěn)定性好。（網(wǎng)絡(luò)） 輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。
關(guān)于三坐標測量輪廓度及粗糙度
三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標測量機精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓，因為它有龍門式三坐標和關(guān)節(jié)臂三坐標，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù)，作為評定該物件是否合格的標準。CSI輪廓儀測樣
擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點，**提高加工效率。光電輪廓儀出廠價
輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。（來自網(wǎng)絡(luò)）
先進的輪廓儀集成模塊
60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗
所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等
PI ，納米移動平臺及控制
Nikon，干涉物鏡
NI，信號控制板和Labview64
控制軟件
TMC 隔震平臺
世界先進水平的計算機軟硬件技術(shù)平臺
VS2012/64位，.NET/C#/WPF
Intel Xeon 計算機
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