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襯底隔振臺(tái)測樣

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-05-19

LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對應(yīng)于AVI元件的開關(guān)輸出,這些AVI元件以任意4個(gè)矩形方向(即平行或直角)放置,不允許其他方向。

面向LFS傳感器的藍(lán)色LED直立。將***個(gè)AVI元件連接到后面板上的12個(gè)D-Sub15插座中的任何一個(gè)。使用筆在位置A和D之間滑動(dòng)開關(guān)。

傳感器的位置:

傳感器可以移動(dòng)到任何所需位置。它可能位于負(fù)載下方或外部,但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。

支承面剛度:

支承面的剛度很重要。水平傳感器無法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬,以便在附近移動(dòng)時(shí)不會(huì)明顯傾斜。傾斜將導(dǎo)致傳感器輸出飽和,隔離將失效。 LFS傳感器在三個(gè)軸上測量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。襯底隔振臺(tái)測樣

Table Stable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器。

可能有多種變化,例如將其用作電子顯微鏡(SEM)的隔振臺(tái),或與光學(xué)平臺(tái)結(jié)合使用的高性能光學(xué)實(shí)驗(yàn)臺(tái)。


特點(diǎn):

?通過主動(dòng)控制沒有共振點(diǎn),可以防止低頻范圍的振動(dòng)。

?安裝時(shí)不需要參數(shù)調(diào)整,安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧,因此不需要空氣彈簧。

?振動(dòng)狀態(tài)一目了然。

(可以目視觀察控制器的每個(gè)LED閃爍單元的振動(dòng)狀態(tài)。)

-加速度信號可以從外部輸出。

(通過將BNC連接器連接到示波器,可以看到活動(dòng)對象正在正常工作。 光刻機(jī)隔振臺(tái)原理AVI 200-M的基本配置包括兩個(gè)單個(gè)承載模塊和一個(gè)控制單元,比較大可以負(fù)載400公斤。

TS主動(dòng)隔振臺(tái)在3D空間的6個(gè)自由度中主動(dòng)式隔振  從0.7 Hz 到100 Hz

在21世紀(jì)納米技術(shù)(即先進(jìn)的半導(dǎo)體**相關(guān)的信息技術(shù),基因療法等生命科學(xué)相關(guān)技術(shù),原子或分子處理如MEMS和工程技術(shù)等新材料生產(chǎn)), 振動(dòng)、噪聲、電磁領(lǐng)域、熱、濕度、干擾等是測量環(huán)境的抑 制因素。

在納米技術(shù)中,為了獲得可靠的結(jié)果,使用充氣被動(dòng)隔振臺(tái)無法隔離低頻振動(dòng),此時(shí)需要主動(dòng)隔離。先進(jìn)的主動(dòng)式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀(jì)納米技術(shù)的隔振技術(shù)基礎(chǔ)。它將有助于發(fā)展目前的技術(shù)和測量、創(chuàng)新和發(fā)展未知的技術(shù)。

裝載設(shè)備:

掃描電子顯微鏡,如 AFM3D表面分析儀,激光顯微鏡,激光干涉儀,液體表面張力測量系統(tǒng),顯微硬度測量儀,

醫(yī)療檢測設(shè)備等

AVI600-M

AVI 600-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元,比較大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實(shí)現(xiàn)對更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI 600-M的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 600-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式


AVI 600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。


技術(shù)指標(biāo):

頻率:  1.2-200 Hz

負(fù)載范圍:  0-1200公斤

(單件):  600公斤 控制中心有超載指示燈。

TS-140+40

TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

這種中型動(dòng)態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。

在公制(M6 x 25mm)或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。


TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)***性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

TS-140 +40的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz后迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式

精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”

用戶友好,實(shí)用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*為28.5千克 AVI 400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元,比較大負(fù)載為800公斤。中科院隔振臺(tái)廠家

安裝好后參數(shù)不需要調(diào)整。襯底隔振臺(tái)測樣

把手輕輕地放在桌面上。可能會(huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起,表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對桌面施加很大的力,所有過載指示燈都將亮起,隔離指示燈將閃爍幾秒鐘,表示系統(tǒng)在過載解除(待機(jī)模式)之前暫時(shí)不再隔離。卸下過載后,隔離燈應(yīng)再次亮起,系統(tǒng)開始隔離。一些過載LED可能會(huì)亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個(gè)階段,系統(tǒng)也在隔離,但增益降低。嚴(yán)重過載后,系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離,但通常只需要幾秒鐘。襯底隔振臺(tái)測樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】的公司,致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實(shí)、誠實(shí)可信的企業(yè)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)深耕行業(yè)多年,始終以客戶的需求為向?qū)В瑸榭蛻籼峁?**的磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)繼續(xù)堅(jiān)定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路,既要實(shí)現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長,又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表市場,以敏銳的市場洞察力,實(shí)現(xiàn)與客戶的成長共贏。

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