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廣東輪廓儀原理

來源: 發布時間:2021-06-02

    新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更易負擔*后,表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現今*高 分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度,表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見如ISO25178所規范的粗糙度參數都支持,也包括軟件功能用于形貌分析,如形狀去除和波長過濾,都包含在基film3D軟件。對于更進階的功能,Filmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進一步處理film3D數據,這當然也與業界其他標準分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經是我們的標準配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能?每film3D都已標配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標準片建立標準每film3D配備了一個10微米階高標準片,可達%準確度。另我們還提供具有100nm,2微米以及4微米等多階高標準片。*大視場Thefilm3D以10倍物鏡優異地提供更寬廣的2毫米視野,其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要。更進一步減少總體成本。測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)。廣東輪廓儀原理

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡:

干涉面成像,

多層垂直掃描

比較好高度測量精度:< 1nm

高度精度不受物鏡影響


性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡:

點掃描合成面成像,

多層垂直掃描

Keyence(日本)

比較好高度測量精度:~10nm

高度精度由物鏡決定,1um精度@10倍

90萬-130萬


三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速、重復性高、高 分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,臺階高度,給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫療工程、制藥、生物材料,光學元件、陶瓷和先進材料的研發和生產提供了一個精確的、價格合理的計量方案。(來自網絡) 重慶碳化硅輪廓儀輪廓儀可用于Oled 特征結構測量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測。

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。(來自網絡)



先進的輪廓儀集成模塊


60年世界水平半導體檢測技術研發和產業化經驗 

所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等 

PI ,納米移動平臺及控制

Nikon,干涉物鏡

NI,信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺


VS2012/64位,.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機


1.5. 系統培訓的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊;

    數據采集功能的講解:通訊端口、連接計算器、等待時間等參數的解釋和參數設置;

    實際演示一一講解;

    如何做好備份和恢復備份資料;

    當場演示各種報表的操作并進行操作解說;

    數據庫文件應定時作備份,大變動時更應做好備份以防止系統重新安裝時造成資料數據庫的流失;

    在系統培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料。

    備注:系統培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片,以方便顧客電話聯系咨詢。 粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量。

一、從根源保障物件成品的準確性:

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數,**提高物件在生產加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”,造成下游生產加工的更大偏離,**終導致整個生產鏈更大的損失。

二、提高效率:

智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關參數,即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。 NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度:200mm/s 。白光干涉輪廓儀**樣機試用

輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。廣東輪廓儀原理

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸,典型結果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)

幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)

白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統,通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,

物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦。 廣東輪廓儀原理

岱美儀器技術服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司。岱美儀器技術服務作為磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】的企業之一,為客戶提供良好的磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念,影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術服務始終關注自身,在風云變化的時代,對自身的建設毫不懈怠,高度的專注與執著使岱美儀器技術服務在行業的從容而自信。

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