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NanoX-8000輪廓儀可以試用嗎

來源: 發布時間:2020-01-08

輪廓的角度處理:  

角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數曲線 。



白光輪廓儀的典型應用:

對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。  


輪廓儀可用于:微結構均勻性 缺 陷,表面粗糙度。NanoX-8000輪廓儀可以試用嗎

輪廓儀對精密加工的意義

現代化高新技術的飛速發展離不開硬件設施和軟件系統的配套支持,在精密加工領域同樣如此,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人**器件、航空航天材料、****設備等領域,都需要對加工的成品進行檢測,從物體表面光滑到粗糙的參數,其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數,作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應運而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用: 3D形貌輪廓儀質保期多久NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復精度 1um。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸,典型結果包括:


表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)

幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)


白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統,通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,

物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦。


輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用:

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結構尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應的輪廓尺寸。

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光

垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩定性)定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。


使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強, 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便  

輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫藥新技術,微流控器件。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?

答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),Z向測量范圍比較大可達10mm,但由于白光干涉儀單次測量區域比較小(以10X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時,全檢的方式需要進行拼接測量,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區域進行抽點檢測,以單點或多點反映整個面的粗糙度參數;

4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm,或者能夠測到更小的尺寸?


如果需要了解更多,請訪問官網。 隔振系統:集成氣浮隔振 + 大理石基石。原裝進口輪廓儀

NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度:200mm/s 。NanoX-8000輪廓儀可以試用嗎

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強, 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數  

個性化: 定制化客戶報告模式 

更好用戶體驗: 迅捷的售后服務,個性化應用軟件支持


1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準,具有穩定性好、承載大、**磨損等優點,達到國內同類產品較高精度。  2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數據采樣分辨率,準確度高,穩定性好。(網絡) NanoX-8000輪廓儀可以試用嗎

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