IQ Aligner®：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統
■用于光學元件的微成型應用
■用于全場納米壓印應用
■三個**控制的Z軸，用于控制壓印光刻膠的總厚度變化（TTV），并在壓模和基材之間實現出色的楔形補償
■粘合對準和紫外線粘合功能
紫外線壓印_紫外線固化
印章
防紫外線基材
附加印記壓印納米結構分離印記
用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后，將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯。
μ-接觸印刷
軟印章
基板上的材料
領取物料，物料轉移，刪除印章
IQ Aligner UV-NIL是自動化紫外線納米壓印光刻系統，是用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印的系統。陜西納米壓印微流控應用
EVG ® 6200 NT是SmartNIL
UV納米壓印光刻系統。
用UV納米壓印能力設有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統®技術范圍達150m。這些系統以其自動化的靈活性和可靠性而著稱，以**小的占地面積提供了**
新的掩模對準技術。操作員友好型軟件，**短的掩模和工具更換時間以及高 效的全球服務和支持使它們成為任何研發環境（半自動批量生產）的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準。此外，該系統還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻。此外，半自動和全自動系統配置均支持EVG專有的SmartNIL技術。
安徽納米壓印技術支持EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統。
SmartNIL是行業**的NIL技術，可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化，并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合，可實現****的吞吐量，并具有顯著的擁有成本優勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期前景，即納米壓印是一種用于大規模制造微米級和納米級結構的低成本，大批量替代光刻技術。
*分辨率取決于過程和模板
如果需要詳細的信息，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。
SmartNIL技術簡介
SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術，可提供功能強大的下一代光刻技術，幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能，因此還可以實現****的吞吐量，并具有顯著的擁有成本的優勢，同時保留了可擴展性和易于維護的操作功能。另外，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當的時間。岱美作為EVG在中國區的代理商，歡迎各位聯系我們，探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。
EVG的納米壓印設備括不同的單步壓印系統，大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復系統。
EVG ® 520 HE特征：
用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印和納米壓印應用
自動化壓花工藝
EVG專有的**對準工藝，用于光學對準的壓印和壓印
氣動壓花選項
軟件控制的流程執行
EVG ® 520 HE技術數據
加熱器尺寸：150毫米，200毫米
比較大基板尺寸：150毫米，200毫米
**小基板尺寸：單芯片，100毫米
比較大接觸力：10、20、60、100 kN
比較高溫度：標準：350°C；可選：550°C
粘合卡盤系統/對準系統
150毫米加熱器：EVG ® 610，EVG ® 620，EVG ® 6200
200毫米加熱器：EVG ® 6200，MBA300，的Smart View ® NT
真空：
標準：0.1毫巴
可選：0.00001 mbar SmartNIL 非常適合對具有復雜納米結構微流控芯片進行高精度圖案化，用在下一代藥 物研究和醫學診斷設備生產。山西納米壓印有哪些應用
分步重復刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。陜西納米壓印微流控應用
HERCULES®NIL：完全集成的納米壓印光刻解決方案，可實現300 mm的大批量生產
■批量生產低至40 nm的結構或更小尺寸（分辨率取決于過程和模板）
■結合了預處理（清潔/涂布/烘烤/冷卻）和SmartNIL®技術
■全自動壓印和受控的低力分離，可很大程度地重復使用工作印章
■具備工作印章制造能力
EVG®770：連續重復的納米壓印光刻技術，可進行有效的母版制作
■用于晶圓級光學器件的微透鏡的高 效母模制造，直至SmartNIL®的納米結構
■不同類型的母版的簡單實現
■可變的光刻膠分配模式
■分配，壓印和脫模過程中的實時圖像
■用于壓印和脫模的原位力控制
陜西納米壓印微流控應用
岱美儀器技術服務（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司。公司業務分為磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發等，目前不斷進行創新和服務改進，為客戶提供良好的產品和服務。公司將不斷增強企業重點競爭力，努力學習行業知識，遵守行業規范，植根于儀器儀表行業的發展。岱美儀器技術服務秉承“客戶為尊、服務為榮、創意為先、技術為實”的經營理念，全力打造公司的重點競爭力。