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歐洲輪廓儀技術支持

來源: 發布時間:2021-08-04

1.3. 培訓計劃

    在完成系統布線并開始設備安裝后,即向甲方和業主介紹整個系統的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等,讓甲方和業主對整個系統有一個***的認識。

    在整個系統驗收前后,安排有關人員在進行培訓。


1.4. 培訓形式

    公司指派技術人員向相關人員講解系統的原理、功能、操作及維修保養要點;

    向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料,使學員對系統的各個方面都能熟練掌握;

    針對系統的具體操作一一指導,使相關人員掌握技術要領;

    對學員提出的問題進行詳細解答;




輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用。歐洲輪廓儀技術支持

表面三維微觀形貌測量的意義

 在生產中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有**直接的影響,而且表面三維評定參數由于能更***,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質量的優劣,進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,優化加工工藝以及加工出高質量的表面,確保零件使用功能的實現。

 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主。


輪廓儀研發生產隔振系統:集成氣浮隔振 + 大理石基石。

一、從根源保障物件成品的準確性:

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數,**提高物件在生產加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”,造成下游生產加工的更大偏離,**終導致整個生產鏈更大的損失。

二、提高效率:

智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關參數,即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。

輪廓儀的技術原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度: ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術:快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響


以下來自網絡:

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業的應用十分***。


擯棄傳統檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸,典型結果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)

幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區域的面積和集體,特征圖形的位置和數量等)

白光干涉系統基于無限遠顯微鏡系統,通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統變為白光干涉儀。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,

物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦。 晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。日本輪廓儀技術原理

由于光罩中電路結構尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。歐洲輪廓儀技術支持

NanoX-系列產品PCB測量應用測試案例

測量種類

?

基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸

?

基板A Sold Mask粗糙度

?

基板A 綠油區域3D 形貌

?

基板A 綠油區域 Pad 粗糙度

?

基板A 綠油區域粗糙度

?

基板A 綠油區域 pad寬度

?

基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad


NanoX-8000 系統主要性能

? 菜單式系統設置,一鍵式操作,自動數據存儲

? 一鍵式系統校準

? 支持連接MES系統,數據可導入SPC

? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

歐洲輪廓儀技術支持

岱美儀器技術服務(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型公司。公司業務分為磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發等,目前不斷進行創新和服務改進,為客戶提供良好的產品和服務。公司將不斷增強企業重點競爭力,努力學習行業知識,遵守行業規范,植根于儀器儀表行業的發展。岱美儀器技術服務秉承“客戶為尊、服務為榮、創意為先、技術為實”的經營理念,全力打造公司的重點競爭力。

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