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安徽光刻機技術服務

來源: 發布時間:2020-07-01

我們可以根據您的需求提供進行優化的多用途系統。

我們的掩模對準系統設計用于從掩模對準到鍵合對準的快速簡便轉換。此外,可以使用用于壓印光刻的可選工具集,例如UV-納米壓印光刻,熱壓印或微接觸印刷。所有系統均支持原位對準驗證軟件,以提高手動操作系統的對準精度和可重復性。EVG620 NT / EVG6200 NT可從手動到自動基片處理,實現現場升級。此外,所有掩模對準器都支持EVG專有的NIL技術。如果您需要納米壓印設備,請訪問我們的官網,或者直接聯系我們。 除了光刻機之外,岱美還代理了EVG的鍵合機等設備。安徽光刻機技術服務

EVG增強對準:全電動頂部和底部分離場顯微鏡支持實時,大間隙,晶圓平面或紅外對準,在可編程位置自動定位。確保**/佳圖形對比度,并對明場和暗場照明進行程序控制。先進的模式識別算法,自動原點功能,合成對準鍵模式導入和培訓可確保高度可重復的對準結果。

曝光光學:提供不同配置的曝光光學系統,旨在實現任何應用的**/大靈活性。汞燈曝光光學系統針對150,200和300 mm基片進行了優化,可與各種濾光片一起用于窄帶曝光要求,例如i-,g-和h-線濾光片,甚至還有深紫外線。 安徽光刻機技術服務EVG光刻機關注未來市場趨勢 - 例如光子學 、光學3D傳感- 并為這些應用開發新的方案和調整現有的解決方案。

IQ Aligner特征:

晶圓/基板尺寸從小到200 mm /

8''

由于外部晶圓楔形測量,實現了非接觸式接近模式

增強的振動隔離,有效減少誤差

各種對準功能提高了過程靈活性

跳動控制對準功能,提高了效率

多種晶圓尺寸的易碎,薄或翹曲的晶圓處理

高地表形貌晶圓加工經驗

手動基板裝載能力

遠程技術支持和SECS / GEM兼容性


IQ Aligner附加功能:

紅外對準–透射和/或反射


IQ Aligner技術數據:

楔形補償:全自動軟件控制

非接觸式

先進的對準功能:自動對準;大間隙對準;跳動控制對準;動態對準

IQ Aligner®NT自動掩模對準系統

特色:IQ Aligner®在**/高吞吐量NT經過優化零協助非接觸式近程處理。

技術數據:IQ Aligner NT是用于大批量應用的生產力**/高,技術**/先進的自動掩模對準系統。該系統具有**/先進的打印間隙控制和零輔助雙尺寸晶圓處理能力,可完全滿足大批量制造(HVM)的需求。與EVG的上一代IQ

Aligner系統相比,它的吞吐量提高了2倍,對準精度提高了2倍,是所有掩模對準器中**/高的吞吐量。IQ Aligner NT超越了對后端光刻應用**苛刻的要求,同時與競爭性系統相比,其掩模成本降低了30%,而競爭系統超出了掩模對準工具所支持的**/高吞吐量。 HERCULES平臺是“一站式服務”平臺。

EVG101光刻膠處理系統的旋轉涂層模塊-旋轉器參數

轉速:**/高10 k rpm

加速速度:**/高10 k rpm

噴涂模塊-噴涂產生

超聲波霧化噴嘴/高粘度噴嘴

開發模塊-分配選項

水坑顯影/噴霧顯影


EVG101光刻膠處理系統附加模塊選項:

預對準:機械


系統控制參數:

操作系統:Windows

文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數/離線程序編輯器

靈活的流程定義/易于拖放的程序編程

并行處理多個作業/實時遠程訪問,診斷和故障排除


多語言用戶GUI和支持:CN,DE,FR,IT,JP,KR


EVG?620 NT / EVG?6200 NT 掩模對準系統(自動化和半自動化)支持的晶圓尺寸 :150 mm / 200 mm。安徽光刻機技術服務

HERCULES的橋接工具系統可對多種尺寸的晶圓進行易碎,薄或翹曲的晶圓處理。安徽光刻機技術服務

隨著儀器儀表和計算機的完美結合,為了更好的滿足人們對精神世界的需求,體驗多維世界給人們帶來的**,儀器儀表的虛擬化開始發展。身臨其境接受客觀實物,給美又增添了一絲創意。隨著網絡消費的不斷遞增,而互聯網的的商業價值不斷被挖掘出來,呈爆發式增長,傳統的營銷模式將逐步被取代。有限責任公司企業要抓住機遇,融入到互聯網發展的行業中,為行業的發展提高競爭力。隨著手機移動網絡的消費潛力不斷隱現,消費者利用手機消費的頻率和份額逐年遞增。移動互聯網所隱藏的商業價值被更多地挖掘出來之后,各種傳統行業(包括磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發行業)的移動網上平臺相繼誕生。中國其他型正面臨百年未有之大變局,行業行家認為,中美貿易戰不會有終點,中美關系時好時壞將成為常態,儀器儀表行業無法排除大局勢的影響,且不要把問題聚焦在關稅上。中國經濟的高速發展得益于WTO框架下的全球化分工;現在中國制造的競爭力在于工業門類齊全、供應鏈完整、供應鏈的高度專業和細分。安徽光刻機技術服務

岱美儀器技術服務(上海)有限公司主營品牌有岱美儀器技術服務,發展規模團隊不斷壯大,該公司其他型的公司。岱美儀器技術服務是一家有限責任公司企業,一直“以人為本,服務于社會”的經營理念;“誠守信譽,持續發展”的質量方針。公司擁有專業的技術團隊,具有磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發等多項業務。岱美儀器技術服務自成立以來,一直堅持走正規化、專業化路線,得到了廣大客戶及社會各界的普遍認可與大力支持。

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