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光學輪廓儀

來源: 發布時間:2020-09-14

    隨著時代的發展,輪廓儀也越來重要了,不少的產品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測,***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,并分別在X和Z方向上對其進行采樣,并將其轉換為電信號。電信號被放大和處理,然后轉換成數字信號并存儲在計算機系統的存儲器中。計算機以數字方式過濾原始表格的輪廓,分離表面并計算粗糙度分量,測量結果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標,或放大的實際輪廓曲線。測量結果通過顯示器輸出,也可以由打印機輸出。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學元件等行業適用于研究機構、大學、計量機構和企業計量室。在汽車,摩托車和制冷行業,它可以測量活塞,活塞銷,齒輪的總線參數和汽車,摩托車和壓縮機的閥門柱塞,可以測量各種傾斜部件的參數。在軸承工業中,內護套環的密封槽的形狀(角度,倒角R,槽深,槽寬等);各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,角度和對數曲線;電機軸,圓柱銷,活塞銷,滾針軸承,圓柱滾子軸承。NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光。光學輪廓儀

NanoX-8000 系統主要性能

? 菜單式系統設置,一鍵式操作,自動數據存儲

? 一鍵式系統校準

? 支持連接MES系統,數據可導入SPC

? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm

? XY運動速度

**快


如果需要了解更多詳細參數,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。

我們主要經營鍵合機、光刻機、輪廓儀,隔振臺等設備。 實驗室輪廓儀有哪些品牌輪廓儀可用于Oled 特征結構測量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用:

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結構尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應的輪廓尺寸。



白光輪廓儀的典型應用:

對各種產品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


輪廓儀在集成電路的應用

封**ump測量  

視場:72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測位置:樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析:2D, 3D顯示;線粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…

器件多層結構臺階高  MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠實現激光槽寬度、深度自動識別和數據自動生成,**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題


歡迎咨詢。 隔振系統:集成氣浮隔振 + 大理石基石。

2)共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節,但是在共焦圖像中,通過多***盤的操作濾除模糊細節(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm。輪廓測量輪廓儀免稅價格

輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫藥新技術,微流控器件。光學輪廓儀

1.3. 培訓計劃

    在完成系統布線并開始設備安裝后,即向甲方和業主介紹整個系統的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等,讓甲方和業主對整個系統有一個***的認識。

    在整個系統驗收前后,安排有關人員在進行培訓。


1.4. 培訓形式

    公司指派技術人員向相關人員講解系統的原理、功能、操作及維修保養要點;

    向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料,使學員對系統的各個方面都能熟練掌握;

    針對系統的具體操作一一指導,使相關人員掌握技術要領;

    對學員提出的問題進行詳細解答;




光學輪廓儀

岱美儀器技術服務(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿易試驗區加太路39號第五層六十五部位,擁有一支專業的技術團隊。岱美儀器技術服務是岱美儀器技術服務(上海)有限公司的主營品牌,是專業的磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】公司,擁有自己**的技術體系。公司堅持以客戶為中心、磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,經相關部門批準后方可開展經營活動】市場為導向,重信譽,保質量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。岱美儀器技術服務(上海)有限公司主營業務涵蓋磁記錄,半導體,光通訊生產,測試儀器的批發,堅持“質量保證、良好服務、顧客滿意”的質量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴。

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