工業集中供氣系統的管道內若存在 0.1 微米顆粒，會隨氣體進入精密設備，造成磨損和故障。例如在液壓系統中，顆粒會劃傷油缸內壁，導致漏油；在精密軸承裝配中，顆粒會嵌入軸承滾道，縮短使用壽命。0.1 微米顆粒度檢測需用顆粒計數器，在過濾器下游采樣，采樣體積≥100L，每毫升油液（或氣體）中顆粒數（0.1μm 及以上）需≤1000 個。工業集中供氣系統需安裝多級過濾器（如前置過濾器、精密過濾器），濾芯精度需達 0.1μm，而顆粒度檢測能驗證過濾器性能 —— 若檢測值超標，可能是濾芯破損或安裝密封不良。通過顆粒度檢測，可確保氣體潔凈度，減少設備故障，提高生產效率。工業集中供氣系統的 0.1 微米顆粒度檢測，每立方米≤10000 個，保護精密設備。佛山高純氣體系統工程氣體管道五項檢測

實驗室氣路系統常用于輸送分析用高純氣體（如色譜載氣、光譜儀用氣），管道內的顆粒污染物會直接影響檢測結果的準確性。0.1 微米顆粒度檢測是控制這類污染的關鍵手段。檢測時，需用特定顆粒計數器接入管道出口，通過高純氮氣吹掃管道 30 分鐘后開始采樣，采樣流量為 1L/min，連續監測 10 分鐘。根據標準，每立方米氣體中 0.1 微米及以上顆粒數需≤1000 個。實驗室氣路系統的管道多采用 316L 不銹鋼電解拋光管，內壁粗糙度≤0.8μm，但其焊接處若處理不當，易形成微小凹陷，成為顆粒積聚的 “溫床”。0.1 微米顆粒度檢測能捕捉這些隱患，確保進入實驗室儀器的氣體無顆粒干擾，比如在氣相色譜分析中，顆粒可能堵塞色譜柱，導致分離效率下降，而嚴格的顆粒度檢測可從源頭規避這類問題。佛山高純氣體系統工程氣體管道五項檢測實驗室氣路系統的水分（ppb 級）檢測≤50ppb，避免水分干擾色譜分析等精密實驗。

高純氣體系統工程中，顆粒是浮游菌的載體，因此需聯動檢測。例如 0.1 微米以上的顆粒可吸附細菌，隨氣體進入生產環境，導致產品污染。檢測時，顆粒度合格（0.1μm 及以上顆粒≤1000 個 /m3）后，測浮游菌（≤1CFU/m3）；若顆粒度超標，需先凈化再測浮游菌。高純氣體系統需安裝 “高效過濾 + 除菌過濾” 組合裝置，且過濾器需定期完整性測試，而關聯檢測能驗證過濾效果 —— 若顆粒度合格但浮游菌超標，可能是除菌過濾器失效。這種方法能多方面保障氣體潔凈度，符合生物制藥、微電子等行業的嚴苛要求。

尾氣處理系統的管道輸送的多為有毒氣體（如氯氣、硫化氫），泄漏會導致環境污染與人員中毒，氦檢漏是保障其密封性的關鍵手段。檢測時，將尾氣管道抽真空至≤10Pa，在管道內側充入氦氣（壓力 0.1MPa），外側用氦質譜儀掃描，泄漏率需≤1×10??Pa?m3/s。尾氣處理系統的管道多為 FRP（玻璃鋼）或 PVC 材質，接頭處若粘結不牢，易出現微漏；長期使用后，腐蝕會導致管壁變薄，也可能產生泄漏。例如在制藥廠的有機廢氣處理系統中，若甲苯尾氣泄漏，會造成 VOCs 超標排放，面臨環保處罰。氦檢漏能準確發現這些隱患，確保尾氣 100% 進入處理裝置，符合環保排放標準。高純氣體管道的氦檢漏，需覆蓋所有焊接點，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，確保純度。

高純氣體系統工程對管道泄漏率的要求遠高于普通工業管道，因為哪怕是 1×10??Pa?m3/s 的微漏，也會導致高純氣體（純度 99.9999%）被空氣污染。氦檢漏需采用 “真空法”：先對管道抽真空至≤1Pa，再在管道外側噴氦氣，內側用氦質譜檢漏儀檢測。氦氣分子直徑小（0.31nm），易穿透微小縫隙，檢漏靈敏度可達 1×10?12Pa?m3/s。在高純氧氣、氫氣系統中，泄漏會導致氣體純度下降 —— 例如電子級氧氣中若混入空氣，氧含量降至 99.999%，會導致半導體晶圓氧化層厚度不均。氦檢漏能準確定位泄漏點（如閥門填料函、焊接熱影響區），為修復提供依據，是高純氣體系統工程驗收的 “硬性指標”。電子特氣系統工程的顆粒污染物控制，需結合 0.1 微米檢測和管道吹掃工藝。佛山高純氣體系統工程氣體管道五項檢測

大宗供氣系統的氦檢漏，泄漏率≤1×10??Pa?m3/s，降低氣體損耗和安全風險。佛山高純氣體系統工程氣體管道五項檢測

電子特氣系統工程中，氧氣和水分常共同存在，對特氣質量產生協同影響，因此需關聯檢測。例如氧氣會加速水分對管道的腐蝕，生成更多顆粒污染物；水分會促進氧氣與特氣的反應（如磷化氫與氧、水反應生成磷酸）。檢測時，先測氧含量（≤10ppb），合格后測水分（≤10ppb），兩者均需達標。電子特氣系統需采用 “脫氧 + 脫水” 雙級凈化，且管道需經鈍化處理（如用高純氮氣吹掃 + 加熱），減少氧和水的吸附。這種關聯檢測能多方面保障特氣化學穩定性，避免因氧和水的協同作用導致的生產事故，這是電子特氣系統工程的重要質量要求。佛山高純氣體系統工程氣體管道五項檢測