在晶圓切割設備的自動化升級浪潮中，中清航科走在行業前列。其新推出的智能切割單元，可與前端光刻設備、后端封裝設備實現無縫對接，通過 SECS/GEM 協議完成數據交互，實現半導體生產全流程的自動化閉環。該單元還具備自我診斷功能，能提前預警潛在故障，將非計劃停機時間減少 60%，為大規模生產提供堅實保障。對于小尺寸晶圓的切割，傳統設備往往面臨定位難、效率低的問題。中清航科專門設計了針對 2-6 英寸小晶圓的切割工作站，采用多工位旋轉工作臺，可同時處理 8 片小晶圓，切割效率較單工位設備提升 4 倍。配合特制的彈性吸盤，能有效避免小晶圓吸附時的損傷，特別適合 MEMS 傳感器、射頻芯片等小批量高精度產品的生產。切割道寬度測量儀中清航科研發，在線檢測精度達0.05μm。鎮江芯片晶圓切割廠

面對全球半導體設備供應鏈的不確定性，中清航科構建了多元化的供應鏈體系。與國內 200 余家質優供應商建立長期合作關系，關鍵部件實現多源供應，同時在各地建立備件中心，儲備充足的易損件與中心部件，確保設備維修與升級時的備件及時供應，縮短設備停機時間。晶圓切割設備的能耗成本在長期運行中占比較大，中清航科通過能效優化設計，使設備的單位能耗降低至 0.5kWh / 片（12 英寸晶圓），較行業平均水平降低 35%。采用智能休眠技術，設備閑置時自動進入低功耗模式，進一步節約能源消耗，為客戶降低長期運營成本。麗水12英寸半導體晶圓切割代工廠中清航科晶圓切割代工廠通過ISO14644潔凈認證，量產經驗足。

UV膜殘膠導致芯片貼裝失效。中清航科研發酶解清洗液，在50℃下選擇性分解膠層分子鏈，30秒清理99.9%殘膠且不損傷鋁焊盤，替代高污染溶劑清洗。針對3D NAND多層堆疊結構，中清航科采用紅外視覺穿透定位+自適應焦距激光，實現128層晶圓的同步切割。垂直對齊精度±1.2μm，層間偏移誤差<0.3μm。中清航科綠色方案整合電絮凝+反滲透技術，將切割廢水中的硅粉、金屬離子分離回收，凈化水重復利用率達98%，符合半導體廠零液體排放（ZLD）標準。

面對高溫高濕等惡劣生產環境，中清航科對晶圓切割設備進行了特殊環境適應性改造。設備電氣系統采用三防設計（防潮濕、防霉菌、防鹽霧），機械結構采用耐腐蝕材料，可在溫度 30-40℃、濕度 60-85% 的環境下穩定運行，特別適用于熱帶地區半導體工廠及特殊工業場景。晶圓切割的刀具損耗是影響成本的重要因素，中清航科開發的刀具壽命預測系統，通過振動傳感器與 AI 算法實時監測刀具磨損狀態，提前 2 小時預警刀具更換需求，并自動推送比較好的更換時間窗口，避免因刀具突然失效導致的產品報廢，使刀具消耗成本降低 25%。中清航科等離子切割技術處理氮化鎵晶圓，熱影響區減少60%。

在晶圓切割的產能規劃方面，中清航科為客戶提供專業的產能評估服務。通過產能模擬軟件，根據客戶的晶圓規格、日產量需求、設備利用率等參數，精確計算所需設備數量與配置方案，并提供投資回報分析，幫助客戶優化設備采購決策，避免產能過剩或不足的問題。針對晶圓切割過程中可能出現的異常情況，中清航科開發了智能應急處理系統。設備可自動識別切割偏差過大、晶圓破裂等異常狀態，并根據預設方案采取緊急停機、廢料處理等措施，同時自動保存異常發生前的工藝數據，為后續問題分析提供依據，比較大限度減少損失。晶圓切割應急服務中清航科24小時響應，備件儲備超2000種。常州碳化硅半導體晶圓切割

超窄街切割方案中清航科實現30μm道寬，芯片數量提升18%。鎮江芯片晶圓切割廠

針對晶圓切割產生的廢料處理難題，中清航科創新設計了閉環回收系統。切割過程中產生的硅渣、切割液等廢料，通過管道收集后進行分離處理，硅材料回收率達到 95% 以上，切割液可循環使用，不僅降低了危廢處理成本，還減少了對環境的污染，符合半導體產業的綠色發展理念。在晶圓切割的精度校準方面，中清航科引入了先進的激光干涉測量技術。設備出廠前，會通過高精度激光干涉儀對所有運動軸進行全行程校準，生成誤差補償表，確保設備在全工作范圍內的定位精度一致。同時提供定期校準服務，配備便攜式校準工具，客戶可自行完成日常精度核查，保證設備長期穩定運行。鎮江芯片晶圓切割廠