手動探針臺是廣泛應用于半導體行業的綜合經濟型測試儀器，主要用于半導體芯片的電參數檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應大型電參數測試儀對芯片中的集成電路進行檢測的。應用范圍：手動探針臺主要用于對生產及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數進行手動測試。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。高溫無氧化測試：當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。探針臺是廣泛應用于半導體行業的綜合經濟型測試儀器，主要用于半導體芯片的電參數檢測。GaN 探針臺供應

    探針臺怎么選合適的配置，怎么確定精度？通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型：1、比較大需要測幾英寸的晶圓或者器件？2、探針臺機械精度要求多高？3、點測樣品的尺寸規格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡比較大倍率200倍）5、需要幾根探針同時去點測？6、會測試到的比較大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）7、漏電精度需要達到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀夾具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：要求能測到的電流的量級）。 MOSFET探針臺產品介紹探針臺是半導體(包含集成電路、分立器材、光電器材、傳感器)行業的檢測標配。

探針臺操作步驟：1.將測試產品放入探針臺的臺盤上;2.打開顯微鏡光源燈（LED或光源機）;3.打開背光面板光源開關;4.調整Zaxis高度對焦，使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰;二.點針操作步驟：1.通過移動鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調整針座位置，將三軸歸零;3.調整針座仰角機構，使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖，將針尖移至視野**位置并通過調整焦距使針尖達到*清晰;6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調下針;8.量測完畢后，逆時針旋轉鈕針座的仰角機構的旋鈕取出快速將針往上抬起，針尖即可移開針Sample;移動座平臺或者顯微鏡相關移動機構時，請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞9.移開針座，取出背光面板光源和光源燈等電源.

手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。5.待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，***則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。6.確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。手動探針臺的工作原理。

雙面點針探針臺可用于晶圓和PCB板測試，用于需要正面和背面同時扎針，以實現各種光/電性能測試需求。該定制探針臺具有優良的機械系統，穩定的結構，符合人體工程學，以及多項升級功能。可廣泛應用于集成電路、Wafer，LED、LCD、太陽能電。產品優勢：可同時完成DC和RF測試大手柄雙驅動，省時，省力，省心雙光路系統，上光路可升級加載光電流系統。芯片內部線路/pad/電級的IV/CV測試l材料/器件的IV/CV性能測試及FAl芯片/面板內部線路修改/去層（介質絕緣層/鈍化層l可對金屬線路層激光斷線或開路進行熔接l激光可選擇性去除特定材料而不損傷下層或基底l激光**小加工精度1*1μml芯片研發流片驗證+失效分析**l激光打標LaserMarklLasercut、Laserweld、Laserrepaill超快短脈沖激光精細微加工修復系統探針臺是半導體、晶圓、集成電路中重要的檢測設備。山東高低溫探針臺

卡盤同時具備快速和微調升降，便于樣品和探針快速分離。GaN 探針臺供應

探針臺由哪些部分組成？1.樣品臺（載物臺）載物臺是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會根據晶圓的尺寸來設計大小，并配套了相應的精密移動定位功能。克洛諾斯科技自主研發的超精密氣浮運動平臺就是作為定位晶圓或芯片的部件設備，重復定位精度達±50納米，可以依靠精密機械運作在極短的曝光時間內完美定位，完成晶圓在量測端的極精密的檢測。2.光學元件這個部件的作用是能夠從視覺上放大觀察待測物，以便精確地將探針前列對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。3.卡盤有一個非常平坦的金屬表面，卡盤用夾具來固定待測物，或使用真空來吸附晶圓。探針臺如何工作？探針臺可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設置在正確的位置，就可以對待測物進行測試。對于帶有多個芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺移到下一個芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個芯片可以進行測試。半自動和全自動探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺來自動化這個移動過程，提高了探針臺生產率。 GaN 探針臺供應

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