面向半導體新材料研發場景,國瑞熱控高溫加熱盤以寬溫域與高穩定性成為科研工具!采用石墨與碳化硅復合基材,工作溫度范圍覆蓋500℃-2000℃,可通過程序設定實現階梯式升溫,升溫速率調節范圍0.1-10℃/分鐘!加熱面配備24組測溫點,實時監測溫度分布,數據采樣頻率達10Hz,支持與實驗室數據系統對接!設備體積緊湊(直徑30cm),重量*5kg,配備小型真空腔體與惰性氣體接口,適配薄膜沉積、晶體生長等多種實驗需求,已服務于中科院半導體所等科研機構!熱響應速度快,快速達溫穩定,減少等待提升效率。普陀區涂膠顯影加熱盤生產廠家

國瑞熱控半導體測試用加熱盤,專為芯片性能測試環節的溫度環境模擬設計,可精細復現芯片工作時的溫度條件!設備溫度調節范圍覆蓋-40℃至150℃,支持快速升溫和降溫,速率分別達25℃/分鐘和20℃/分鐘,能模擬不同工況下的溫度變化!加熱盤表面采用柔性導熱墊層,適配不同厚度的測試芯片,確保熱量均勻傳遞至芯片表面,溫度控制精度達±0.5℃!配備可編程溫度控制系統,可預設多段溫度曲線,滿足長時間穩定性測試需求!設備運行時無電磁場干擾,避免對測試數據產生影響,同時具備過溫、過流雙重保護功能,為半導體芯片的性能驗證與質量檢測提供專業溫度環境!虹口區晶圓鍵合加熱盤非標定制表面硬度強化處理,耐磨耐刮擦,保持長期美觀實用。

借鑒空間站“雙波長激光加熱”原理,國瑞熱控開發半導體激光加熱盤,適配極端高溫材料制備!采用氮化鋁陶瓷基體嵌入激光吸收層,表面可承受3000℃以上局部高溫,配合半導體激光與二氧化碳激光協同加熱,實現“表面強攻+內部滲透”的加熱效果!加熱區域直徑可在10mm-200mm間調節,溫度響應時間小于1秒,控溫精度±1℃,支持脈沖式加熱模式!設備配備紅外測溫與激光功率閉環控制系統,在鎢合金、鈮合金等耐熱材料研發中應用,為航空航天等**領域提供極端環境模擬工具!
國瑞熱控高真空半導體加熱盤,專為半導體精密制造的真空環境設計,實現無污染加熱解決方案!產品采用特殊密封結構與高純材質制造,所有部件均經過真空除氣處理,在10??Pa高真空環境下無揮發性物質釋放,避免污染晶圓表面!加熱元件采用嵌入式設計,與基材緊密結合,熱量傳遞損耗降低30%,熱效率***提升!通過內部溫度場模擬優化,加熱面均溫性達±1℃,適配光學器件鍍膜、半導體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景!設備可耐受反復升溫降溫循環,在-50℃至500℃溫度區間內結構穩定,為高真空環境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障!多重安全保護設計,漏電過載超溫防護,安全可靠。

針對晶圓清洗后的烘干環節,國瑞熱控**加熱盤以潔凈高效的特性適配嚴苛需求!產品采用高純不銹鋼基材,表面經電解拋光與鈍化處理,粗糙度Ra小于0.2μm,減少水分子附著與雜質殘留!加熱面采用蜂窩狀導熱結構,使熱量均勻分布,晶圓表面溫度差控制在±2℃以內,避免因局部過熱導致的晶圓翹曲!溫度調節范圍覆蓋50℃至150℃,支持階梯式升溫程序,適配不同清洗液的烘干需求!設備整體采用無死角結構設計,清潔時*需用高純酒精擦拭即可,符合半導體制造的高潔凈標準,為清洗后晶圓的干燥質量與后續工藝銜接提供保障!密封式設計防潮防塵耐腐蝕,適用于復雜環境特殊氣氛。松江區探針測試加熱盤供應商
遠程監控功能可選,實時掌握設備狀態,智能便捷管理。普陀區涂膠顯影加熱盤生產廠家
針對半導體退火工藝中對溫度穩定性的高要求,國瑞熱控退火**加熱盤采用紅外加熱與電阻加熱協同技術,實現均勻且快速的溫度傳遞!加熱盤主體選用低熱慣性的氮化硅陶瓷材質,熱導率達30W/mK,可在30秒內將晶圓溫度提升至900℃,且降溫過程平穩可控,避免因溫度驟變導致的晶圓晶格損傷!表面噴涂耐高溫抗氧化涂層,在長期高溫退火環境下無物質揮發,符合半導體潔凈生產標準!配備多組溫度監測點,實時反饋晶圓不同區域溫度數據,通過PID閉環控制系統動態調整加熱功率,確保溫度波動小于±1℃!適配離子注入后的退火、金屬硅化物形成等工藝環節,與應用材料、東京電子等主流退火設備兼容,為半導體器件性能優化提供關鍵溫控保障!普陀區涂膠顯影加熱盤生產廠家
無錫市國瑞熱控科技有限公司匯集了大量的優秀人才,集企業奇思,創經濟奇跡,一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創新天地,繪畫新藍圖,在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的信譽,信奉著“爭取每一個客戶不容易,失去每一個用戶很簡單”的理念,市場是企業的方向,質量是企業的生命,在公司有效方針的領導下,全體上下,團結一致,共同進退,**協力把各方面工作做得更好,努力開創工作的新局面,公司的新高度,未來無錫市國瑞熱控科技供應和您一起奔向更美好的未來,即使現在有一點小小的成績,也不足以驕傲,過去的種種都已成為昨日我們只有總結經驗,才能繼續上路,讓我們一起點燃新的希望,放飛新的夢想!