人工檢查 AOI檢查pcb＜18*20 幾千個(gè)pad以下人 重要 輔助檢查時(shí)間 正常 正常持續(xù)性 因人而異 （差） 好可靠性 因人而異 （差） 較好準(zhǔn)確性 因人而異 誤點(diǎn)率高時(shí)間 長(zhǎng) 短與或非（AND OR INVERT）一種常用邏輯運(yùn)算實(shí)施AOI有以下兩類主要的目標(biāo)：**終品質(zhì)對(duì)產(chǎn)品走下生產(chǎn)線時(shí)的**終狀態(tài)進(jìn)行監(jiān)控。當(dāng)生產(chǎn)問題非常清楚、產(chǎn)品混合度高、數(shù)量和速度為關(guān)鍵因素的時(shí)候，優(yōu)先采用這個(gè)目標(biāo)。AOI通常放置在生產(chǎn)線**末端。在這個(gè)位置，設(shè)備可以產(chǎn)生范圍***的過(guò)程控制信息。這個(gè)階段的定量過(guò)程控制數(shù)據(jù)包括，印刷偏移和焊錫量信息，而有關(guān)印刷焊錫的定性信息也會(huì)產(chǎn)生?；⑶饏^(qū)國(guó)內(nèi)自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制

印刷圖案圖3所有印有圖案的PCB也是能夠被檢查的，例如，當(dāng)元 器件的邊框或元器件本體上的字母單獨(dú)出現(xiàn)在組件的某個(gè) 區(qū)域從而干擾對(duì)其他部分的檢查時(shí)，可以手工調(diào)整檢查程 序。盡管如此，在生產(chǎn)允許的范圍內(nèi)，圖案的印刷范圍仍 然有一個(gè)較大的選擇，因此，減少非反射性標(biāo)識(shí)印刷（黑 或暗黃）值得加以考慮。另外一個(gè)可能出現(xiàn)的情況是需要 有選擇地印刷標(biāo)識(shí)：例如，當(dāng)某些特定的器件（如霍爾傳 感器）正面向下時(shí)就必須印刷成白色；而另一種情況是印 有極性標(biāo)志的有傾斜角的鉭電容器件；這樣能使標(biāo)識(shí)和背 景形成鮮明的對(duì)比，使得檢查的圖像更加清晰。相城區(qū)購(gòu)買自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備銷售價(jià)格這個(gè)位置的檢查直接地支持過(guò)程跟蹤和特征化。

缺陷類型：微粒缺陷（如異物污染）圖形缺陷（如光刻圖案偏移） [1-3]2.檢測(cè)精度：可實(shí)現(xiàn)0.2微米級(jí)缺陷的識(shí)別，滿足45納米工藝節(jié)點(diǎn)的質(zhì)量控制需求 [1-3]。吞吐量：每小時(shí)處理20片300毫米晶圓（基于2021年技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)） [1] [3]適用工藝：45納米及更高制程的集成電路制造 [1-3]主要用于半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)的在線缺陷檢測(cè)，覆蓋晶圓前道制程中的關(guān)鍵工藝步驟，確保芯片良率與可靠性 [1-3]。上海集成電路研發(fā)中心有限公司自2011年起使用KLA-Tencor Puma9150型號(hào)設(shè)備（截至2020年），同期配備頻譜分析儀、晶邊缺陷檢查設(shè)備等科研儀器 [2-3]。

過(guò)程跟蹤使用檢查設(shè)備來(lái)監(jiān)視生產(chǎn)過(guò)程。典型地包括詳細(xì)的缺陷分類和元件貼放偏移信息。當(dāng)產(chǎn)品可靠性很重要、低混合度的大批量制造、和元件供應(yīng)穩(wěn)定時(shí)，制造商優(yōu)先采用這個(gè)目標(biāo)。這經(jīng)常要求把檢查設(shè)備放置到生產(chǎn)線上的幾個(gè)位置，在線地監(jiān)控具體生產(chǎn)狀況，并為生產(chǎn)工藝的調(diào)整提供必要的依據(jù)。雖然AOI可用于生產(chǎn)線上的多個(gè)位置，各個(gè)位置可檢測(cè)特殊缺陷，但AOI檢查設(shè)備應(yīng)放到一個(gè)可以盡早識(shí)別和改正**多缺陷的位置。有三個(gè)檢查位置是主要的：貼片后回流焊前：移位，漏料、極性、歪斜、腳彎、錯(cuò)件.

布局建議針對(duì)AOI檢查的PCB整體布局器件到PCB的邊緣應(yīng)該至少留有3mm（0.12”）的工 藝邊。片式器件必須優(yōu)先于圓柱形器件。布局上建議考慮 傳感器技術(shù)，因?yàn)橛袝r(shí)檢查只能通過(guò)垂直（正交）角度，而其他時(shí)候又需要一個(gè)輔助的角度來(lái)進(jìn)行。元器件圖2對(duì)一個(gè)穩(wěn)定的工藝過(guò)程來(lái)說(shuō)，一個(gè)重要的因素是元器 件，這不僅與PCB上直接的器件布局有關(guān)，而且或多或少 也與“工藝流程設(shè)計(jì)”有關(guān)。元器件的采購(gòu)趨勢(shì)是盡 可能地便宜，而不管它在顏色、尺寸等參數(shù)上的不同。不 幸的是，這些選擇在日后對(duì)AOI或AXI檢查過(guò)程中造成的影 響往往被忽略了。始終采用同樣的材料和產(chǎn)品能夠***地 減少檢查時(shí)間和誤報(bào)，而這些問題主要是通過(guò)元器件以及 PCB的突然變化而出現(xiàn)的?；亓骱负髾z查提供高度的安全性，因?yàn)樗R(shí)別由錫膏印刷、元件貼裝和回流過(guò)程引起的錯(cuò)誤。蘇州通用自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備維修電話

早期發(fā)現(xiàn)缺陷將避免將壞板送到隨后的裝配階段，AOI將減少修理成本將避免報(bào)廢不可修理的電路板。虎丘區(qū)國(guó)內(nèi)自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制

圖像分析模塊：運(yùn)行閾值分割、形態(tài)學(xué)處理算法 [2-3]2024年實(shí)用新型專利顯示，先進(jìn)系統(tǒng)可集成分揀模塊實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化品質(zhì)分級(jí)，檢測(cè)流程耗時(shí)較人工檢測(cè)縮短90% [2]。檢測(cè)算法分為三類技術(shù)路線：傳統(tǒng)圖像處理：采用全局/局部閾值分割進(jìn)行像素分類，配合邊緣檢測(cè)算法提取缺陷輪廓深度學(xué)習(xí)模型：基于卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的特征提取技術(shù)，適用于復(fù)雜背景缺陷檢測(cè)混合模型：結(jié)合傳統(tǒng)算法預(yù)處理與深度學(xué)習(xí)分類，提升微小缺陷識(shí)別率2025年顯示屏缺陷檢測(cè)**顯示，blob分析與幾何位置匹配算法可將重復(fù)缺陷檢出率提升至99.7%。虎丘區(qū)國(guó)內(nèi)自動(dòng)化缺陷檢測(cè)設(shè)備批量定制

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