凈化車間施工期間，對施工人員的健康和安全同樣重要。施工團隊需要遵守嚴格的安全規程，使用個人防護裝備，定期進行健康檢查，以防止施工活動對人員健康造成影響。凈化車間施工完成后，需要對凈化系統進行定期的性能測試。這些測試可以驗證系統的長期穩定性和可靠性，確保凈化車間能夠持續滿足生產需求。凈化車間施工完成后，需要對凈化系統進行詳細的文檔記錄。這些記錄包括系統的設計參數、施工過程、測試結果等，為未來的運維和管理提供參考。潔凈室內的標識應清晰、易讀、不易脫落。武漢10級凈化車間施工

凈化車間天花板通常為雙層結構：下層是布滿高效送風口的潔凈吊頂（如盲板、FFU龍骨系統），材質多為鋁型材或噴涂鋼板；上層則是技術夾層（Technical Mezzanine），用于容納風管、水管、電纜橋架等龐大設施，便于維護隔離污染。材料的選擇和施工工藝必須符合潔凈室規范（如ISO 14644），確保墻體、地面、天花本身不釋放粒子、不吸附粒子、耐受頻繁清潔消毒，為內部精密的環境控制系統提供堅實的物理容器。凈化車間地面材料是接觸頻繁的區域：環氧樹脂自流平較為普遍，提供無縫隙、耐磨、抗化、易清潔的表面；聚氨酯砂漿地坪則具有更好的抗熱沖擊和耐刮擦性；高級別凈化車間可能采用高架地板系統（如鑄鋁板），下方作為回風靜壓箱，便于管線靈活布置。茂名萬級凈化車間建造天花板上的高效過濾器送風口應均勻分布。

凈化車間的運維管理是保證其長期穩定運行的基礎。運維團隊需要定期檢查和維護凈化系統的各個組件，如空氣過濾器、風機、加濕器等，確保它們始終處于比較好工作狀態。此外，運維人員還需要對車間內的溫濕度、氣壓等環境參數進行持續監控。凈化車間的管理不僅包括日常的運維，還包括對生產流程的監控和優化。管理者需要確保生產過程中的每個步驟都符合凈化要求，同時對生產人員進行定期培訓，提高他們對凈化車間規范的認識和遵守程度。

在電子制造尤其是半導體、顯示面板等領域，生產環境的溫度與濕度控制精度直接決定了產品良率和工藝穩定性，其重要性絲毫不亞于空氣潔凈度。凈化車間通常要求溫度控制在22±0.5°C甚至更窄的區間（如22±0.1°C），濕度則需維持在40-60% RH，特定區域或工藝步驟（如光刻膠涂布、顯影）的濕度波動甚至需控制在±2% RH以內。如此嚴苛的要求源于多個關鍵因素：溫度微小變化會導致硅片、玻璃基板等材料發生熱脹冷縮，造成光刻對準誤差（Overlay Error）；濕度過高易使金屬線路腐蝕、光刻膠吸潮導致圖形變形，濕度過低則引發靜電放電（ESD）風險，擊穿脆弱電路。實現這種精密控制依賴于強大的空調系統（AHU）和精密的末端調節裝置。AHU內采用高精度冷水盤管（配合冷水機組提供穩定低溫冷凍水）或電加熱器進行溫度粗調，配合高靈敏度的溫濕度傳感器。對關鍵操作區域（如灌裝點）進行動態環境監測。

在凈化車間關鍵區域，通常增設風管再熱單元（如電加熱盤管、熱水盤管）或精密空調（CRAC），對送入該區域的空氣進行二次微調補償。加濕多采用潔凈蒸汽加濕（避免產生水霧顆粒）或超聲波加濕（需配合嚴格的水質處理），除濕則通過深度冷凍除濕或轉輪除濕技術實現。所有溫濕度數據實時反饋至控制系統，通過復雜的PID算法動態調整冷熱水閥、蒸汽閥、電加熱器功率等執行機構，確保環境參數在設備散熱、人員活動、新風變化等擾動下仍能保持驚人的穩定，為納米級制造工藝構筑堅實的物理環境基礎。靜電控制措施（如防靜電地板、手腕帶）在特定區域非常重要。茂名萬級凈化車間建造

地面采用環氧自流坪或PVC卷材以滿足無縫隙、耐磨、抗靜電要求。武漢10級凈化車間施工

部分凈化車間內墻采用無縫焊接的304/316L不銹鋼板或抗細菌彩鋼板，墻面轉角設計為弧形結構（R≥50mm），消除清潔死角。地面選用自流平環氧樹脂或PVC卷材，具備抗化學腐蝕、防靜電性能，接縫處熱熔焊接并打磨平整。天花板為一體化帶高效過濾器的FFU系統，燈具嵌入吊頂并密封處理。所有門窗采用無框雙層玻璃，氣密膠條確保閉合無縫隙。表面處理需滿足易清潔、不產塵、耐消毒劑沖洗的要求，如不銹鋼表面需電解拋光至Ra≤0.4μm。管道穿越處采用硅膠密封，設備基座與地面一體化設計，杜絕微生物藏匿空間。武漢10級凈化車間施工