芯片蝕刻時(shí)，刻蝕速率的均勻性對(duì)芯片電路完整性至關(guān)重要。溫度波動(dòng)如同“蝴蝶效應(yīng)”，可能引發(fā)刻蝕過(guò)度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制，以及可達(dá)±0.5%@8h的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常，保障芯片蝕刻質(zhì)量。芯片沉積與封裝過(guò)程中，精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用。其可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于ISOclass3，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對(duì)芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。

主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過(guò)濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成。浙江電子元器件恒溫恒濕

精密印刷（如 PCB 線路板焊膏印刷、高duan包裝印刷）用恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室，關(guān)鍵是通過(guò)環(huán)境穩(wěn)定保障印刷質(zhì)量的一致性。實(shí)驗(yàn)室溫度需控制在 23±0.5℃，濕度維持在 50±2%，這是因?yàn)楹父嗟恼扯葘?duì)溫濕度極敏感 —— 溫度每升高 1℃，焊膏粘度可能下降 5%，導(dǎo)致印刷時(shí)出現(xiàn) “溢墨”；濕度過(guò)低則焊膏易干結(jié)，出現(xiàn) “斷印” 缺陷。實(shí)驗(yàn)室空調(diào)系統(tǒng)采用變頻控制技術(shù)，可根據(jù)印刷機(jī)的啟停動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)制冷量與加濕量，避免設(shè)備運(yùn)行散熱導(dǎo)致局部溫度升高。印刷工作臺(tái)下方安裝局部溫濕度補(bǔ)償裝置，通過(guò)微型風(fēng)道直接向印刷區(qū)域輸送穩(wěn)定氣流，確保焊膏在取用、攪拌、印刷全過(guò)程處于同一環(huán)境條件。實(shí)驗(yàn)室還劃分 “原料存放區(qū)” 與 “印刷操作區(qū)”，兩區(qū)溫濕度參數(shù)保持一致，防止原料在轉(zhuǎn)移過(guò)程中因環(huán)境變化影響性能。天津細(xì)胞恒溫恒濕精密環(huán)境控制設(shè)備依托自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了 0.1% 的超高輸出精度。

恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室建設(shè)要求也十分嚴(yán)格。它一般包括恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)區(qū)、緩沖間、空調(diào)間，且各區(qū)域需在同一建設(shè)平面內(nèi)。恒溫恒濕室技術(shù)上要符合 ISO、GB 標(biāo)準(zhǔn)，各恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室溫度能控制在設(shè)定值 ±0.01℃~±1℃，相對(duì)濕度為設(shè)定值 ±(1~2)%，風(fēng)速 0.25m/s 。對(duì)房屋建筑也有要求，建筑物周?chē)荒苡袕?qiáng)磁場(chǎng)、震動(dòng)、熱源、異味、污染等干擾因素。層高應(yīng)在 2.8m 以上（梁下凈空高度），門(mén)窗要盡量減少數(shù)量并做好保溫措施。滿足實(shí)驗(yàn)室使用功能上，送風(fēng)多采用孔板式上送風(fēng)、下回風(fēng)，室內(nèi)凈空高度 2.5~2.85m，無(wú)窗且減少門(mén)的數(shù)量。新建實(shí)驗(yàn)室恒溫室內(nèi)不設(shè)上下水、供暖管線設(shè)施，改建的則需按規(guī)范對(duì)上下水、供暖管線作隔熱防潮處理。實(shí)驗(yàn)室內(nèi)消防不宜用噴淋系統(tǒng)，如需安裝建議選用氣體滅火系統(tǒng) 。空調(diào)機(jī)房建設(shè)要求建在有外墻位置，具備單獨(dú)供電系統(tǒng)和接地系統(tǒng)，設(shè)有上下水且下水要作防異味處理 。保溫墻面需采用熱導(dǎo)率在 0.021～0.12Kcal/m·H·℃(λ=0.0244～0.1395w/m·k)范圍內(nèi)，吸水率不大于 10%，熱絕緣性能優(yōu)、耐水性能好、阻燃難燃、綠色環(huán)保且尺寸穩(wěn)定性能好的材料。

自動(dòng)安全保護(hù)系統(tǒng)是精密環(huán)控柜的重要保障，為設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和用戶(hù)的使用安全提供防護(hù)。故障自動(dòng)保護(hù)程序時(shí)刻監(jiān)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，一旦檢測(cè)到異常情況，如溫度過(guò)高、壓力過(guò)大、電氣故障等，系統(tǒng)會(huì)立即啟動(dòng)相應(yīng)的保護(hù)措施，停止設(shè)備的危險(xiǎn)運(yùn)行，避免設(shè)備損壞或引發(fā)安全事故，實(shí)現(xiàn)全天候無(wú)憂運(yùn)行。同時(shí)，故障實(shí)時(shí)聲光報(bào)警提醒，能及時(shí)引起用戶(hù)的注意。用戶(hù)可以根據(jù)報(bào)警信息迅速判斷故障類(lèi)型和位置，及時(shí)采取應(yīng)對(duì)措施。此外，遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理功能，使用戶(hù)能夠通過(guò)網(wǎng)絡(luò)與專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員取得聯(lián)系，技術(shù)人員可以遠(yuǎn)程查看設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)和故障信息，指導(dǎo)用戶(hù)進(jìn)行故障排查和修復(fù)，縮短了故障處理時(shí)間，提高了設(shè)備的可用性。

精密環(huán)控柜為光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見(jiàn)加工設(shè)備提供穩(wěn)定溫濕度、潔凈度、防噪音、抗微震條件。

恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室通風(fēng)方式也歷經(jīng)多個(gè)發(fā)展階段。從蕞初的底出風(fēng)，到上自然送風(fēng)、上散流器送風(fēng)，如今蕞前沿的是上風(fēng)管 + 微孔天花送風(fēng)、下地板回風(fēng)方式。這種方式能讓整個(gè)實(shí)驗(yàn)室送風(fēng)柔和、均勻，溫濕度控制更為穩(wěn)定 。新風(fēng)系統(tǒng)同樣不可或缺，它一方面為工作人員提供新鮮空氣，保障身體健康；另一方面，對(duì)實(shí)驗(yàn)室溫濕度穩(wěn)定性貢獻(xiàn)巨大。為使實(shí)驗(yàn)室不受外界干擾，需向室內(nèi)提供新風(fēng)，維持實(shí)驗(yàn)室氣壓為正，防止外界空氣進(jìn)入，確保長(zhǎng)年溫濕度穩(wěn)定。擁有超高水準(zhǔn)潔凈度控制能力，可達(dá)百級(jí)以上潔凈標(biāo)準(zhǔn)。陜西恒溫恒濕機(jī)組

自面世以來(lái)，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶(hù)提供了穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及監(jiān)測(cè)服務(wù)，獲得了頗多好評(píng)。浙江電子元器件恒溫恒濕

實(shí)驗(yàn)室空調(diào)堪稱(chēng)溫濕度控制的關(guān)鍵，要求精度高且故障率低。目前調(diào)節(jié)制冷量主要有兩種方式。變頻調(diào)節(jié)是通過(guò)改變供電性質(zhì)來(lái)改變壓縮機(jī)功率，讓壓縮機(jī)實(shí)現(xiàn)低負(fù)荷或過(guò)負(fù)荷工作，同時(shí)調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng)節(jié)流量。不過(guò)，這一方式需添加眾多繁瑣環(huán)節(jié)，且各環(huán)節(jié)要完美匹配，否則極易出現(xiàn)故障，現(xiàn)實(shí)中故障率頗高。冷凍水型機(jī)組則采用 7℃左右的冷水作為冷源，通過(guò)控制電動(dòng)閥開(kāi)大或關(guān)小來(lái)調(diào)節(jié)水流量，進(jìn)而輕松控制制冷量。電動(dòng)閥結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，類(lèi)似家用水龍頭，所以故障率近乎為零，控制效果穩(wěn)定。通過(guò)合理計(jì)算房間熱濕負(fù)荷和空氣露dian，匹配好風(fēng)量、冷量、加熱量、加濕量，再借助 PLC 控制各個(gè)部件進(jìn)行無(wú)級(jí)調(diào)控，搭配靈敏度高、線性好的傳感器，能將溫度控制在 ±0.5℃，濕度控制在 ±2%。但這種方式需根據(jù)每個(gè)實(shí)驗(yàn)室實(shí)際面積和負(fù)荷進(jìn)行計(jì)算匹配，沒(méi)有標(biāo)準(zhǔn)成型機(jī)組，均為定制加工型，一般采用組合式空調(diào)箱組合配比實(shí)現(xiàn)，缺點(diǎn)是占地面積大，整個(gè)系統(tǒng)穩(wěn)定性欠佳，維護(hù)復(fù)雜，出問(wèn)題后修復(fù)困難。浙江電子元器件恒溫恒濕