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智能工廠多工位平臺(tái)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-12-05

單片晶圓拾取和放置設(shè)備在半導(dǎo)體工藝流程中發(fā)揮著關(guān)鍵作用,它確保晶圓能夠安全、準(zhǔn)確地從一個(gè)工藝步驟轉(zhuǎn)移到另一個(gè)步驟。設(shè)備設(shè)計(jì)強(qiáng)調(diào)無(wú)振動(dòng)搬運(yùn),避免晶圓表面產(chǎn)生微小劃傷或應(yīng)力損傷,這對(duì)后續(xù)工藝的良率和產(chǎn)品質(zhì)量具有重要影響。通過(guò)精細(xì)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和傳感器監(jiān)控,設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓的穩(wěn)定姿態(tài)控制,保證晶圓在放置時(shí)的方向和位置符合工藝要求。該設(shè)備的應(yīng)用不僅提升了生產(chǎn)線的自動(dòng)化水平,還減少了人為操作帶來(lái)的不確定因素??祁TO(shè)備有限公司代理的單片晶圓拾取與放置系統(tǒng)采用真空無(wú)接觸端部執(zhí)行器技術(shù)和全程晶圓狀態(tài)監(jiān)控傳感器,實(shí)現(xiàn)更加安全的轉(zhuǎn)移過(guò)程;同時(shí),其靜電防護(hù)設(shè)計(jì)與 SECS/GEM 選配接口,使其可以無(wú)縫融入客戶的自動(dòng)化生產(chǎn)線。該設(shè)備支持工藝配方創(chuàng)建,并能處理多種晶圓厚度,為復(fù)雜工藝路徑提供靈活支撐。科睿團(tuán)隊(duì)基于客戶工藝特性提供配置建議與現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試服務(wù),使設(shè)備能夠在不同產(chǎn)線環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行,進(jìn)一步提升整體工藝的可控性與良率表現(xiàn)。晶圓制造后道引入六角形自動(dòng)分揀機(jī),多傳感器融合,提升效率與質(zhì)量。智能工廠多工位平臺(tái)

智能工廠多工位平臺(tái),六角形自動(dòng)分揀機(jī)

批量晶圓拾取和放置技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造產(chǎn)線的物料搬運(yùn)環(huán)節(jié),是實(shí)現(xiàn)高效作業(yè)的重要工具。該技術(shù)通過(guò)設(shè)計(jì)精巧的端拾器或并行機(jī)械手結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓盒內(nèi)多片晶圓的同步抓取和放置,突破了傳統(tǒng)單片操作的效率瓶頸。在晶圓轉(zhuǎn)移過(guò)程中,設(shè)備保持晶圓間的安全間距,保證晶圓群的平整度和表面潔凈度,有助于提升后續(xù)工藝的穩(wěn)定性和良率。應(yīng)用場(chǎng)景包括晶圓盒與工藝設(shè)備之間的快速物料轉(zhuǎn)運(yùn),尤其適合大批量生產(chǎn)環(huán)境。設(shè)備通常配備傳感器系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)控晶圓狀態(tài),減少搬運(yùn)過(guò)程中的風(fēng)險(xiǎn)。非真空拾取技術(shù)的采用,使晶圓接觸面積減小,降低機(jī)械壓力,適合對(duì)晶圓表面質(zhì)量要求較高的工藝??祁TO(shè)備有限公司在批量晶圓搬運(yùn)應(yīng)用領(lǐng)域深耕多年,所代理的批量拾取工具結(jié)合磁帶映射、傳感器安全監(jiān)測(cè)及SECS/GEM自動(dòng)化接口等功能,可幫助客戶實(shí)現(xiàn)與現(xiàn)有產(chǎn)線的無(wú)縫銜接。高通量晶圓多工位平臺(tái)售后晶圓翻轉(zhuǎn)六角形自動(dòng)分揀機(jī)穩(wěn)定翻轉(zhuǎn),避免沖擊,多端口滿足不同產(chǎn)線布局需求。

智能工廠多工位平臺(tái),六角形自動(dòng)分揀機(jī)

自動(dòng)化產(chǎn)線的高效運(yùn)轉(zhuǎn)離不開(kāi)精密的分揀設(shè)備,六角形自動(dòng)分揀機(jī)憑借其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和智能識(shí)別能力,成為現(xiàn)代晶圓生產(chǎn)中不可或缺的環(huán)節(jié)。該設(shè)備通過(guò)非接觸式傳感系統(tǒng),能夠準(zhǔn)確讀取晶圓的身份信息,依據(jù)工藝狀態(tài)和測(cè)試良率實(shí)現(xiàn)自動(dòng)分類(lèi)。六角形旋轉(zhuǎn)分揀機(jī)構(gòu)確保晶圓在搬運(yùn)過(guò)程中的平穩(wěn)性,降低了機(jī)械沖擊對(duì)晶圓表面的影響,保護(hù)了晶圓的完整性和潔凈度。設(shè)備支持多種加載端口配置,適應(yīng)不同產(chǎn)線結(jié)構(gòu)和生產(chǎn)需求,同時(shí)兼容多種通訊協(xié)議,便于實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線的智能化管理??祁TO(shè)備有限公司作為自動(dòng)化產(chǎn)線六角形分揀解決方案提供商,能夠根據(jù)客戶產(chǎn)線規(guī)模配置專(zhuān)業(yè)的設(shè)備。對(duì)于需要更潔凈生產(chǎn)環(huán)境的晶圓廠,科睿也可提供支持迷你環(huán)境與SMIF端口的200mm高吞吐量機(jī)型。憑借國(guó)內(nèi)多點(diǎn)服務(wù)布局及十余年的設(shè)備代理經(jīng)驗(yàn),科睿持續(xù)為客戶提供穩(wěn)定的產(chǎn)線集成、調(diào)試與維護(hù)支持,幫助半導(dǎo)體制造企業(yè)建立更高效、更智能的晶圓流轉(zhuǎn)體系。

晶圓翻轉(zhuǎn)自動(dòng)化分揀平臺(tái)主要用于實(shí)現(xiàn)晶圓在不同工藝環(huán)節(jié)中的姿態(tài)轉(zhuǎn)換,滿足測(cè)試和包裝過(guò)程中對(duì)晶圓方向的特定要求。該平臺(tái)通過(guò)機(jī)械臂和視覺(jué)系統(tǒng)的協(xié)同工作,能夠完成晶圓的翻轉(zhuǎn)動(dòng)作,減少了人工操作的復(fù)雜性和不確定性。設(shè)備在潔凈環(huán)境中運(yùn)行,有效降低了晶圓表面受到污染或損傷的可能。翻轉(zhuǎn)功能不僅支持晶圓的正反面檢測(cè),也有助于實(shí)現(xiàn)多角度的質(zhì)量評(píng)估和分類(lèi)。智能調(diào)度系統(tǒng)根據(jù)工藝流程自動(dòng)安排翻轉(zhuǎn)時(shí)機(jī)和動(dòng)作路徑,提高了操作的連貫性和效率。該平臺(tái)適用于測(cè)試、封裝及倉(cāng)儲(chǔ)等多環(huán)節(jié),能夠靈活適應(yīng)不同規(guī)格和批次的晶圓處理需求。通過(guò)自動(dòng)化翻轉(zhuǎn),減少了晶圓在搬運(yùn)過(guò)程中的人為接觸,降低了劃傷和混批風(fēng)險(xiǎn)。設(shè)備設(shè)計(jì)注重穩(wěn)定性和重復(fù)性,確保每次翻轉(zhuǎn)動(dòng)作的準(zhǔn)確執(zhí)行。晶圓翻轉(zhuǎn)自動(dòng)化分揀平臺(tái)的應(yīng)用有效促進(jìn)了生產(chǎn)流程的自動(dòng)化升級(jí),為實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量晶圓處理提供了技術(shù)支持,助力企業(yè)提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品可靠性。適應(yīng)實(shí)驗(yàn)室多樣測(cè)試的自動(dòng)化分揀平臺(tái),靈活精細(xì),提升結(jié)果可靠性。

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在選擇單片晶圓拾取和放置廠家時(shí),用戶通常關(guān)注設(shè)備的穩(wěn)定性、兼容性及售后服務(wù)能力。穩(wěn)定性體現(xiàn)為設(shè)備在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行中保持平穩(wěn)搬運(yùn)晶圓的能力,防止因振動(dòng)或滑移導(dǎo)致的晶圓損傷。兼容性方面,設(shè)備應(yīng)支持多種晶圓尺寸和厚度,適應(yīng)不同制造流程的需求。此外,廠家提供的技術(shù)支持和維修服務(wù)也是重要考量,能夠減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間,保障生產(chǎn)連續(xù)性。在這類(lèi)廠家選擇中,科睿設(shè)備有限公司依托其代理的400 wph單片晶圓拾取和放置系統(tǒng),為客戶提供更具工程化價(jià)值的參考方案。該系統(tǒng)不僅具備檢查模式與傳感器全程安全監(jiān)控,還能實(shí)現(xiàn)晶圓在 LP2空槽位置的目視檢查,進(jìn)一步提升搬運(yùn)安全性。設(shè)備的非真空端部執(zhí)行器手指采用較小接觸設(shè)計(jì),減少晶圓受力點(diǎn),有助于降低邊緣損傷風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí),科睿技術(shù)團(tuán)隊(duì)提供配方配置指導(dǎo)、工藝適配優(yōu)化與快速響應(yīng)維護(hù)服務(wù),為客戶在設(shè)備選型和實(shí)際量產(chǎn)階段提供穩(wěn)定的技術(shù)保障。工業(yè)級(jí)六角形自動(dòng)分揀機(jī),結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)獨(dú)特,適應(yīng)復(fù)雜生產(chǎn),提升處置效率。實(shí)驗(yàn)室批量晶圓拾取和放置參數(shù)

兼容多尺寸晶圓的單片晶圓拾取和放置配備觸摸屏與SECS/GEM接口,便于自動(dòng)化集成。智能工廠多工位平臺(tái)

晶圓翻轉(zhuǎn)功能在自動(dòng)分揀機(jī)中扮演著重要角色,尤其是在多工序生產(chǎn)流程中,能夠有效配合上下游設(shè)備的作業(yè)需求。晶圓翻轉(zhuǎn)六角形自動(dòng)分揀機(jī)通過(guò)準(zhǔn)確的機(jī)械設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)晶圓的穩(wěn)定翻轉(zhuǎn),避免翻轉(zhuǎn)過(guò)程中的機(jī)械沖擊和表面污染。該設(shè)備結(jié)合非接觸式傳感系統(tǒng),實(shí)時(shí)識(shí)別晶圓信息,確保每片晶圓根據(jù)工藝狀態(tài)和測(cè)試良率被正確分類(lèi)。六角形旋轉(zhuǎn)分揀機(jī)構(gòu)不僅提高了分揀速度,還使晶圓在翻轉(zhuǎn)和搬運(yùn)過(guò)程中保持平穩(wěn),減少潛在的損傷風(fēng)險(xiǎn)。多端口加載設(shè)計(jì)增強(qiáng)了設(shè)備的靈活性,適應(yīng)不同產(chǎn)線布局和晶圓規(guī)格需求。設(shè)備支持標(biāo)準(zhǔn)化通訊協(xié)議,便于實(shí)現(xiàn)與產(chǎn)線其他設(shè)備的無(wú)縫對(duì)接。科睿設(shè)備有限公司在提供晶圓翻轉(zhuǎn)類(lèi)六角形分揀機(jī)方案時(shí),會(huì)結(jié)合自家代理產(chǎn)品,為客戶打造具有更高可維護(hù)性和擴(kuò)展性的設(shè)備平臺(tái)??祁K淼母咄糠謷C(jī)均配備映射功能,能夠在翻轉(zhuǎn)前后進(jìn)行自動(dòng)位姿識(shí)別,降低人工檢查負(fù)擔(dān)。智能工廠多工位平臺(tái)

科睿設(shè)備有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才,集企業(yè)奇思,創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡,一群有夢(mèng)想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開(kāi)創(chuàng)新天地,繪畫(huà)新藍(lán)圖,在上海市等地區(qū)的化工中始終保持良好的信譽(yù),信奉著“爭(zhēng)取每一個(gè)客戶不容易,失去每一個(gè)用戶很簡(jiǎn)單”的理念,市場(chǎng)是企業(yè)的方向,質(zhì)量是企業(yè)的生命,在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下,全體上下,團(tuán)結(jié)一致,共同進(jìn)退,**協(xié)力把各方面工作做得更好,努力開(kāi)創(chuàng)工作的新局面,公司的新高度,未來(lái)科睿設(shè)備供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來(lái),即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績(jī),也不足以驕傲,過(guò)去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn),才能繼續(xù)上路,讓我們一起點(diǎn)燃新的希望,放飛新的夢(mèng)想!

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