EdwardsiGX半導體干式真空泵iGX干式真空泵系列為大修之間的零維護設定了新標準。提高效率降低了擁有成本，并在整個壓力范圍內提供連續的泵送任務。iGX干泵包括以太網連接，允許通過網頁查看關鍵數據，以及一套***的網絡選項，以確保泵的持續可用性。iGX泵提供各種峰值速度和變體，可滿足從清潔到中型工藝的應用。模塊化設計允許用戶配置iGX干泵以滿足個別晶圓廠的要求。超緊湊的占地面積允許安裝選項，包括工具上、近距離或遠程。iGX干式真空泵系列為大修之間的零維護設定了新標準。提高效率降低了擁有成本，并在整個壓力范圍內提供連續的泵送任務iGX干泵--iGX1000N真空泵維修，干泵維修iGX干式泵--iGX100L干式真空泵維修iGX干泵--iGX100M干式真空泵維修，干泵維修，半導體真空泵維修iGX干泵--iGX100MTI干式真空泵維修，干泵維修，半導體真空泵維修iGX干泵--iGX100N干式真空泵維修，干泵維修，半導體真空泵維修iGX干泵--iGX600L干式真空泵維修，干泵維修，半導體真空泵維修iGX干泵--iGX600M干式真空泵維修，干泵維修，半導體真空泵維修iGX干泵--iGX600N干式真空泵維修，干泵維修，半導體真空泵維修。在真空熱處理過程中，真空泵有助于控制溫度和氣氛，優化材料性能。廈門真空泵常用知識

（1）以德國萊寶真空泵維修為例，首先要分析真空泵的故障原因。a)若是真空泵已返油，用手扳動皮帶輪旋轉數周，即可起動。b)若是由于長期不運轉或停機后未放入大氣，可以將真空泵腔內充滿真空泵油，然后用手扳動皮帶輪旋轉數周，即可起動。若是油溫太低導致的啟動困難，那么就應給油加溫或讓室內溫度保持在15度以上，也可以用手扳動皮帶輪旋轉數周，再繼續通電運轉數分鐘，即可正常工作。另外，油變質了必須更換新的真空泵油，電源缺相，應檢修電源。油封旋片真空泵長期使用后，會出現真空度下降、密封處漏油、真空泵轉動停滯、甚至發生“卡死”、油污染嚴重、真空泵腔生銹、旋片有大的撞擊聲、真空泵腔內落入硬物劃傷真空泵腔、造成真空泵過熱等異常現象，此時必須對真空泵進行拆洗。（2）德國萊寶真空泵維修拆洗步驟如下：a)切斷電源，將真空泵從真空系統上卸下，用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來，以免污染環境；b)卸下皮帶、皮帶輪積鍵(雙級旋片真空泵包含皮帶);c)先拆低真空端，取下后端蓋，再取出低真空轉子、旋片及彈簧等；d)將前端蓋拆下，取出高真空轉子、旋片及彈簧等；e)取下視鏡、排氣閥、排氣蓋等；廈門真空泵常用知識降低了操作難度和出錯率，用戶只需簡單的操作就能實現設備的啟停和調節。

真空機組一般由真空泵、控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統，實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。工作原理啟動系統，主真空泵組開始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，真空泵自動停止運行，中央真空系統內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環往復，真空系統的真空度能夠維持穩定的真空源，滿足生產的要求。

PS系列泵型號如下：型號：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802PS系列S／N型特點：抽速：1,600~30,000升/分鐘；極限壓力：7.5x10-3~7.5x10-4Torr；**監控系統（選配）可防止泵異常停機；配備變頻器和接口選項，泵可用于一般真空鍍膜、真空烘箱、熱處理、食品和化學工業應用。

干式螺桿真空泵A／H型型號：PS-80、PS-160、PS-180、PS-602、PS-902、PS-1302、PS-1802PS系列A／H型特點：抽速：1,600~30,000升/分鐘；極限壓力：7.5x10-3~7.5x10-4Torr；結合N2加熱系統，可減少氣體沉淀，延長大修之間的運行時間，延長泵的使用壽命。**監控系統（選配）可以防止泵的異常停機。適用于半導體、TFT-LCD、LED、太陽能相關、電池和熱處理行業應用。 真空泵是實驗室中不可或缺的設備，它能夠有效地創造出所需的真空環境，確保實驗的精確性和可靠性。

供應萊寶真空泵維修型號：萊寶SV系列泵浦，萊寶雙級泵D系列泵浦，如SV10B、SV16B、SV25B、SV40B、SV65B、SV100B、SV120B、SV200、SV300、SV300B、SV500B、SV630B、SV630BF、SV750B、SV750BF等。雙級旋片式真空泵D8C、D16C、D30C、D40C、D60C、D65B、D25B、D8A、D60A、D30A等普旭真空泵維修型號：RA0020、RA0040、RA0063、RA0100、RA0160、RA0250、RA0302、RA0630、R5-0004B、R5-0008B、R5-0010C、R5-0016C、R5-0021C、R5-0025F、R5-0040F、R5-0063F、R5-0100F、R5-0160D、R5-0202D、R5-0250D、R5-0302D、R5-0400B、R5-0502B、R5-0630B、里其樂真空泵維修型號：VC50、VC75、VC100、VC150、VC200、VC300、VC500、VC700、VGC050、VGC075、VGC0100、VGC0150、VGC0200、VGC0300、VGC0400、VGC0500、VGC0700、貝克真空泵維修型號：U3.6、U4.20、U4.40、U4.70、U4.100、U4.165、U4.190、U4.250、U4.400、U4.630、無油旋片真空泵VT4.4、VT4.8、VT4.10、VT4.16、VT4.25、VT4.40、DVT3.60、DVT3.80、DVT3.100、DVT3.140、VTLF200、VTLF250、VTLF360、VTLF400、VTLF500離子泵不僅能提供高真空，還能有效去除帶電粒子，保持環境的純凈。廈門真空泵常用知識

分子泵在超高真空系統中表現出色，能有效排除殘留氣體分子。廈門真空泵常用知識

注意事項：?特油100號真空泵油換油時真空泵油換油時必須將舊油排放干凈，將新油從泵的吸氣口倒入，并用手緩慢轉動泵軸，清掃泵腔并排盡殘油，再重復清洗泵腔數次，然后將泵殼內的殘油洗凈裝入新油；?100號真空泵油要配備zhuan用加油工具，不能使用盛過其它油或溶劑的容器；?不同牌號，不同品種的油不能混用，新舊油不能混用。性能：150號真空泵油（一級品）具有適宜的粘度，在低溫下能使真空泵迅速啟動，在高溫下具有良好的密封性；分別滿足規定要求的真空度和使用場合；較好的抗氧化性和熱穩定性，降低油垢和結焦的產生，生產效率更高，延長換油周期；粘度指數高、閃點高，150號真空泵油（一級品）在泵溫升高時能保持穩定的真空壓強，ji限真空更低；較好的抗乳化性，油水分離性強，產生油泥少，長期使用更加清潔；150號真空泵油（一級品）較好的抗泡沫性，減少由于溢流、斷流引起泵體的磨損，延長泵的使用壽命。廈門真空泵常用知識