400XR系列精密定位平臺產品簡介：精密滾珠絲杠（5,10,20,25mm導程）方形直線滾動導軌不銹鋼帶防塵保護**度鋁合金結構100-2000mm行程精密級重復性精度±1.3um標準級重復性精度±5um100%運行周期可選配步進電機或伺服電機電機安裝可選同軸安裝或平行安裝可組合成一維，二維，三維精密定位運動可選精密級無回隙連軸器（波紋管）可選限位/回零傳感器可選配精密光柵尺可選直線編碼器反饋可選無塵室環境應用IP30額定條密封可選配內置直線伺服電機驅動，速度可達2米/秒晶圓測試設備：通過高精度定位確保芯片封裝質量。吳中區品牌精密平臺銷售方法

XYZ高精密移動平臺（XYZ high precision mobile platform），又稱三坐標高精密移動平臺，是一種三坐標精密定位設備，主要應用于微型渦輪噴氣發動機實驗、電主軸與測功機同軸度測量等工程技術領域。該平臺由X軸、Y軸、Z軸移動部分構成，各軸通過聯軸器連接伺服電機或旋轉圓盤實現自動/手動調節。平臺采用三層疊加結構設計，X向底板固定于基座，Y向底板置于X軸拖板，Z向底板通過角鐵與Y軸拖板連接形成三維移動體系。其傳動系統采用M10滑動絲桿副，具備自鎖性能且無需潤滑，X方向滑動絲桿副可滿足軸向和徑向剛度需求。該設備配備數顯位移測量系統，可通過容柵傳感器實現位移精確定位。在電主軸與測功機同軸度測量中，配合尋邊器可將同軸度控制在0.02mm以內，但測量精度受平臺自身精度直接影響。虎丘區特色精密平臺性價比納米技術平臺：實現納米級材料沉積或檢測。

平面三自由度精密定位平臺是一種用于精密定位領域的機械裝置，由輸出平臺、基座、三個柔順機構、三個壓電驅動器、三個驅動器定位裝置、位移傳感器及控制器等部件組成。該平臺通過控制器驅動壓電陶瓷產生位移，可實現X、Y方向平移及Z方向旋轉的三自由度運動。該平臺三個柔順機構與位移傳感器沿輸出平臺中心呈120°對稱分布，其結構設計保障了運動傳遞的無間隙、無摩擦特性，同時提高了移動直線度與定位穩定性。采用柔順機構使輸出平臺與基座保持同一層次，壓電驅動器具備亞微米級定位精度和快速響應能力，分辨率可達納米級。

花崗石平臺：在使用中巖石工具即使遭重物磕碰，至多掉幾粒石碴而已。花崗石平板其優于質量鑄鐵和鋼材制作的精密測量基準零件，可以獲得高而穩定的精度。我公司生產的花崗石平板1000×630mm的‘00’級花崗石平板，擱放一年后，仍能保持原精度不變。花崗石平臺特性：精度高、不生銹、耐酸堿、不磁化、不變型、耐磨性好等優點。崗石平臺能在重負荷及一般溫度下保持穩定。我公司生產的花崗石平臺精密量具，采用質量天然花崗石平臺料經機械加工，人工精研而成。模塊化設計：支持多軸聯動控制，便于集成和擴展。

2020年技術參數顯示，常規伺服平臺M-L01.2A2可實現1μm步長定位，最大承載20公斤，而超長程納米精度壓電Z軸定位臺N-664.3A的Z軸行程達30mm，線性度保持0.03% along 20um。納米級旋轉平臺M-061.DG具備＞360°轉動范圍，設計分辨率達1.2μrad（約0.000069°），**小步長：6urad，單向重復性：50urad，適用于光學元件微調場景 [1]。2024年***技術方案包含以下創新設計：三心精合結構：移動機構質量重心、驅動源推力中心與導向部件剛度中心三點共線，降低運動誤差至納米級 [2]光學：在光學實驗和設備中，精密平臺用于穩定和調整光學元件的位置。吳中區品牌精密平臺銷售方法

結構：采用先進的控制算法和傳感器技術。吳中區品牌精密平臺銷售方法

調節機構：配備水平調節裝置，重復定位精度±0.05mm [4] [7]。截至2025年，復旦大學上海市超精密光學工程技術研究中心整合五個研發室，聚焦超精密光學制造與檢測技術 [5]。典型應用案例包括：武漢中航世紀隔振設備有限公司生產的ZPT-G-M-24-12精密阻尼隔振光學平臺 [4]；中國航天發動機廠的精密阻尼隔振光學平臺測試 [4]；科研級氣浮隔振平臺（固有頻率）在量子光學領域的應用 [8]。實驗采用三點均布敲擊法，通過位移傳感器和采集軟件檢測隔振器垂直/水平固有頻率、振幅、振動速度等參數，確保平臺振幅≤55μm [2-3] [6]。吳中區品牌精密平臺銷售方法

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