隨著半導(dǎo)體技術(shù)和光學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體與光學(xué)器件的交叉領(lǐng)域越來(lái)越寬。例如，在光電子器件、光通信器件等領(lǐng)域中，半導(dǎo)體和光學(xué)器件的集成度越來(lái)越高。這些交叉領(lǐng)域?qū)o(wú)塵車(chē)間的需求也日益增長(zhǎng)。無(wú)塵車(chē)間在半導(dǎo)體與光學(xué)器件交叉領(lǐng)域的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：一是提供潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，滿足半導(dǎo)體和光學(xué)器件制造的高潔凈度要求；二是提供穩(wěn)定的溫濕度環(huán)境，確保半導(dǎo)體和光學(xué)器件的性能和穩(wěn)定性；三是有效控制靜電和電磁干擾，避免對(duì)精密制造和測(cè)試設(shè)備造成影響。通過(guò)無(wú)塵車(chē)間的應(yīng)用，半導(dǎo)體與光學(xué)器件的交叉領(lǐng)域可以實(shí)現(xiàn)更高的制造精度和更可靠的器件性能。防靜電與防爆設(shè)計(jì)，保障電子與新能源生產(chǎn)安全。福建LCM無(wú)塵車(chē)間廠房改造

在一些食品的生產(chǎn)中，如巧克力、糖果等，為了防止微生物滋生和異物混入，也需要建設(shè)無(wú)塵車(chē)間。無(wú)塵車(chē)間能夠有效控制食品生產(chǎn)環(huán)境中的細(xì)菌和其他污染物，確保食品的衛(wèi)生和質(zhì)量，讓消費(fèi)者能夠放心食用。無(wú)塵無(wú)菌車(chē)間通過(guò)分區(qū)設(shè)計(jì)與空氣動(dòng)力學(xué)控制實(shí)現(xiàn)污染物隔離。采用BIM技術(shù)結(jié)合生產(chǎn)流程進(jìn)行三維空間規(guī)劃，將車(chē)間劃分為潔凈區(qū)、準(zhǔn)潔凈區(qū)和輔助區(qū)三大功能區(qū)域。通過(guò)不同區(qū)域間的壓差梯度設(shè)置（通常保持10 - 15Pa壓差），形成從潔凈區(qū)向準(zhǔn)潔凈區(qū)再向輔助區(qū)的單向氣流路徑，有效阻隔外部污染物滲透。廣東PCB八層無(wú)塵車(chē)間平臺(tái)光學(xué)鏡片研磨需無(wú)塵環(huán)境，配合層流罩，顆粒物濃度≤35粒/m3。

無(wú)塵車(chē)間，亦稱為潔凈室或無(wú)塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電等控制在某一需求范圍內(nèi)的特別設(shè)計(jì)房間。其目的作用在于控制產(chǎn)品所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在良好環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，為眾多行業(yè)提供穩(wěn)定、可靠的生產(chǎn)環(huán)境。無(wú)塵車(chē)間的潔凈度等級(jí)一般分為十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)6個(gè)等級(jí)。不同等級(jí)適用于不同生產(chǎn)需求，等級(jí)越高，潔凈度要求越嚴(yán)格。例如，千級(jí)無(wú)塵車(chē)間將某房間內(nèi)每立方米大于或等于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量控制在1000個(gè)以內(nèi)，廣泛應(yīng)用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品生產(chǎn)、測(cè)試等領(lǐng)域。

光學(xué)儀器和航空航天部件的制造需要極高的精度和可靠性，無(wú)塵車(chē)間可以減少灰塵和顆粒物的存在，保證光學(xué)產(chǎn)品的清晰度和精度。在光學(xué)制造領(lǐng)域，無(wú)塵車(chē)間是保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素。無(wú)塵車(chē)間確保了航空航天零部件的制造過(guò)程中不受污染，提高了產(chǎn)品的整體質(zhì)量和安全性。航空航天產(chǎn)品的制造對(duì)環(huán)境要求極為嚴(yán)格，無(wú)塵車(chē)間為零部件制造提供了潔凈、穩(wěn)定的環(huán)境，保障了航空航天事業(yè)的發(fā)展。無(wú)塵車(chē)間在科研實(shí)驗(yàn)室中的應(yīng)用，可以減少實(shí)驗(yàn)過(guò)程中的污染和誤差，提高實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。無(wú)論是生物學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)還是材料科學(xué)等領(lǐng)域的研究，都需要在潔凈、無(wú)塵的環(huán)境中進(jìn)行。無(wú)塵車(chē)間為科學(xué)研究提供了良好的實(shí)驗(yàn)環(huán)境，推動(dòng)了科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步。無(wú)塵車(chē)間通過(guò)FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元，實(shí)現(xiàn)0.3μm顆粒99.99%過(guò)濾效率。

醫(yī)療設(shè)備直接關(guān)系人類(lèi)健康，其生產(chǎn)環(huán)境需同時(shí)滿足潔凈度與無(wú)菌性雙重標(biāo)準(zhǔn)。以植入式醫(yī)療器械為例，美國(guó)FDA要求生產(chǎn)車(chē)間達(dá)到ISO 7級(jí)潔凈度，且關(guān)鍵工序需在ISO 5級(jí)局部百級(jí)環(huán)境下進(jìn)行。廣東楚嶸公司為醫(yī)療設(shè)備行業(yè)設(shè)計(jì)的無(wú)塵車(chē)間，采用雙層氣密隔離門(mén)禁系統(tǒng)，結(jié)合氮?dú)獯祾呒夹g(shù)，實(shí)現(xiàn)1000:1的氣體置換效率，有效防止外部微生物侵入。在無(wú)菌包裝工序，車(chē)間配置單獨(dú)層流罩與VHP滅菌系統(tǒng)。層流罩通過(guò)HEPA過(guò)濾器提供垂直單向流，將≥0.5微米顆粒物濃度控制在352粒/m3以下，而VHP系統(tǒng)則利用過(guò)氧化氫蒸氣對(duì)包裝材料進(jìn)行滅菌，殺滅率達(dá)99.999%。黃光區(qū)紫外防護(hù)，泄漏量≤1μW/cm2，保護(hù)光刻膠性能。福建LCM無(wú)塵車(chē)間廠房改造

無(wú)塵車(chē)間通過(guò)BIM技術(shù)優(yōu)化氣流，死角區(qū)潔凈度提升40%。福建LCM無(wú)塵車(chē)間廠房改造

半導(dǎo)體制造是無(wú)塵車(chē)間應(yīng)用特別的領(lǐng)域之一。在芯片生產(chǎn)過(guò)程中，微小的塵埃顆粒或污染物都可能導(dǎo)致電路短路、漏電或性能下降，甚至使整個(gè)芯片報(bào)廢。因此，半導(dǎo)體制造對(duì)無(wú)塵車(chē)間的潔凈度要求極高，通常需要達(dá)到ISO 1級(jí)或更高的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。無(wú)塵車(chē)間通過(guò)高效的空氣過(guò)濾系統(tǒng)、嚴(yán)格的氣流組織設(shè)計(jì)和精密的環(huán)境控制，為半導(dǎo)體制造提供了一個(gè)幾乎無(wú)塵、無(wú)菌的生產(chǎn)環(huán)境。在半導(dǎo)體制造中，無(wú)塵車(chē)間面臨著諸多技術(shù)挑戰(zhàn)。首先，隨著芯片特征尺寸的不斷縮小，對(duì)潔凈度的要求也越來(lái)越高。福建LCM無(wú)塵車(chē)間廠房改造