丹陽市寶來利真空機(jī)電有限公司2025-09-17

提高鍍膜速率的方法有：增加蒸發(fā)源的加熱功率（對于蒸發(fā)鍍膜），提高鍍膜材料的蒸發(fā)速度；增大濺射靶的功率（對于濺射鍍膜），增強(qiáng)粒子轟擊靶材的強(qiáng)度，增加靶材原子的逸出量；提高真空度，減少氣體分子對鍍膜粒子的阻礙，使粒子更快到達(dá)基片表面；優(yōu)化蒸發(fā)源 / 濺射靶與基片之間的距離，縮短粒子運(yùn)動路徑；選擇合適的鍍膜材料，不同材料的蒸發(fā)或濺射速率不同。?

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