激光光掩膜主要分兩個組成部分,即基板和不透光材料,不同掩模版的不透光材料有所不同。基板通常是高純度,低反射率,低熱膨脹系數的石英玻璃。不同種類光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分為鉻版(蘇打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃)、干版、菲林、凸版(APR)。鉻版的不透光層是通過濺射方法鍍在玻璃下方厚約 0.1um 的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,不易受損但有可能被玻璃所傷害。應用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過干版還有包膜和超微顆粒干版,后者可應用于芯片制造。在芯片制造中,光刻類似于膠片相機中利用底片進行洗制照片的過程。江蘇激光打標
日本HOYACANDEOOPTRONICS的激光系列-世界認同等級修正用之激光HSL-4000系列HSL-5000系列無論在設計,制造上HOYA采用比較先進的光學技術HOYA光學技術的結晶徹底追求加工穩定度的較好品質小型YAG激光系統HSL-4000II系列/HSL-5000II系列以HOYA特有的高度光學技術活用于設計、制造上,創造出比較好可多段多變功率輸出且高穩定性的激光裝置。能同時實現微細加工與高輸出能量的大面積加工之激光系統從比較小0.5μm到比較大300μm,對半導體及FPD金屬薄膜的微細加工到ColorFilter的大面積加工都可以對應。另外,比較大頻率可到50Hz,也可用在各種應用層面上。保養及維修的特性燈泡容易替換上海PD激光超快激光可用于微加工多種材料;
RY20激光修復機:
廣泛應用:超快激光針對半導體的精細微加工
★芯片去層及圖形線路切割lasercut
★Mask掩膜版的開路斷線熔接laserwelding(LCVD)
★針對Oled、Mini/Microled面板修復LaserRepair
系統設備參數:
1、電氣參數
●電源:220V/AV,大10A
●激光器電源:48V/DC,比較大8A。
2、機械參數
●Z軸行程:20mm
●Z軸小移動精度:1um
●整機重量:150Kg。
3、激光光學參數
●物鏡:5X、10X,20XNUV
●激光輸出波長:355nmMAX6mj、532nmMAX8mj、1064nmMAX20mj
●光斑調節范圍:0.01*0.01~4*4mm(物鏡前)
●**小切割線寬:355nm1um;532nm1.2um;1064nm1.5um
激光機常見故障以及解決方法:三、復位不正常1、檢查傳感器是否沾灰、接觸不良或受損(擦凈傳感器上的灰塵或更換);2、檢查柔性導帶數據線是否接觸不良或損壞(修剪數據線重新拔插或更換數據線);3、檢查地線接觸是否可靠或高壓線是否受損(重新接地或更換高壓線);4、電機線接觸不良。四、漏刻1、初始化不正確,已發送數據(更正);2、操作順序顛倒(重新輸出);3、靜電干擾(檢查地線是否脫落);五、清掃勾邊錯位、不閉合1、編輯好的文件是否正確(重新編輯);2、所選目標是否超出版面(重新選取);3、檢查軟件參數設置是否正確(重新設置);4、電腦系統有誤(重新安裝操系統及軟件);5、檢查左右皮帶松緊是否一致或后端皮帶是否太松(皮帶加緊);6、檢查皮帶或同步輪是否打滑、跳齒(加緊同步輪或皮帶);7、檢查橫梁是否平行(重新調節左右皮帶);激光開封機的使用環境;
半導體激光器失效機理與案例分析:
2)歐姆接觸如果芯片和焊料存在較大的熱失配,激光器在焊接或工作時會導致材料界面產生應力集中,進而引起焊料開裂或芯片裂損。此外,在焊接激光器時,芯片和焊料間存在焊接空隙會導致激光器發生失效,同時焊接中的焊料溢出也易導致PN結短路。
3)腔面退化腔面退化是激光器區別于其他微電子器件的一個失效模式。由于激光器有源區材料中含有Al或In元素,且當芯片設計制造工藝均勻性或一致性較差時,Al、In元素在高功率工作下會發生融化或再結晶,導致腔面出現雜質或缺陷,從而使該區域溫度不斷升高,面的電流密度繼續增大導致該區域溫度進一步升高,終導致災變光學損傷。
4)環境污染環境污染是導致半導體激光器失效的外界因素,主要原因為灰塵、水汽、離子污染物等顆粒進入半導體激光器內部,附著在芯片表面引起短路或開路,導致器件失效。 激光熱處理,激光淬火。上海PD激光
光刻掩模版的加工技術;江蘇激光打標
半導體業的銅引線封裝越來越成為發展主流,傳統的化學開封已無法完全滿足銅引線封裝的開封要求。激光開封機的誕生給分析領域帶來了新的技術。
激光開封機特點:
1、對銅引線封裝有很好的開封效果
2、對復雜樣品的開封極為方便
3、可重復性、一致性極高
、電腦控制開封形狀、位置、大小、時間等,操作便利
5、對環境及人體污染傷害較小,安全性高
6、幾乎沒有耗材,使用成本很低
7、體積較小,容易擺放
激光開封機是怎么操作的?開封,開蓋,開帽,指給完整封裝的IC做局部腐蝕,使得IC可以暴露出來,同時保持芯片功能的完整無損,保持 die,bond pads,bond wires乃至lead-frame不受損傷,為下一步芯片失效分析實驗做準備,方便觀察或做其他測試(如FIB,EMMI), Decap后功能正常。 江蘇激光打標
上海波銘科學儀器有限公司是一家集研發、制造、銷售為一體的****,公司位于望園南路1288弄80號1904、1909室,成立于2013-06-03。公司秉承著技術研發、客戶優先的原則,為國內拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器的產品發展添磚加瓦。主要經營拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器等產品服務,現在公司擁有一支經驗豐富的研發設計團隊,對于產品研發和生產要求極為嚴格,完全按照行業標準研發和生產。上海波銘科學儀器有限公司研發團隊不斷緊跟拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器行業發展趨勢,研發與改進新的產品,從而保證公司在新技術研發方面不斷提升,確保公司產品符合行業標準和要求。上海波銘科學儀器有限公司嚴格規范拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器產品管理流程,確保公司產品質量的可控可靠。公司擁有銷售/售后服務團隊,分工明細,服務貼心,為廣大用戶提供滿意的服務。