借鑒空間站 “雙波長(zhǎng)激光加熱” 原理，國(guó)瑞熱控開發(fā)半導(dǎo)體激光加熱盤，適配極端高溫材料制備。采用氮化鋁陶瓷基體嵌入激光吸收層，表面可承受 3000℃以上局部高溫，配合半導(dǎo)體激光與二氧化碳激光協(xié)同加熱，實(shí)現(xiàn) “表面強(qiáng)攻 + 內(nèi)部滲透” 的加熱效果。加熱區(qū)域直徑可在 10mm-200mm 間調(diào)節(jié)，溫度響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒，控溫精度 ±1℃，支持脈沖式加熱模式。設(shè)備配備紅外測(cè)溫與激光功率閉環(huán)控制系統(tǒng)，在鎢合金、鈮合金等耐熱材料研發(fā)中應(yīng)用，為航空航天等**領(lǐng)域提供極端環(huán)境模擬工具。低熱容設(shè)計(jì)，升溫降溫迅捷，適合快速變溫工藝。天津半導(dǎo)體晶圓加熱盤

面向柔性半導(dǎo)體基板（如聚酰亞胺基板）加工需求，國(guó)瑞熱控**加熱盤以柔性貼合設(shè)計(jì)適配彎曲基板。采用薄型不銹鋼加熱片（厚度 0.2mm）與硅膠導(dǎo)熱層復(fù)合結(jié)構(gòu)，可隨柔性基板彎曲（彎曲半徑**小 5mm）而無(wú)結(jié)構(gòu)損壞，加熱面溫度均勻性達(dá) ±1.5℃，溫度調(diào)節(jié)范圍 50℃-250℃，適配柔性基板鍍膜、光刻膠烘烤等工藝。配備真空吸附槽道，可牢固固定柔性基板，避免加熱過(guò)程中褶皺導(dǎo)致的工藝缺陷。與維信諾、柔宇科技等柔性顯示廠商合作，支持柔性 OLED 驅(qū)動(dòng)芯片的制程加工，為柔性電子設(shè)備的輕量化、可彎曲特性提供制程保障。長(zhǎng)寧區(qū)晶圓加熱盤廠家密封式設(shè)計(jì)防潮防塵耐腐蝕，適用于復(fù)雜環(huán)境特殊氣氛。

面向半導(dǎo)體熱壓鍵合工藝，國(guó)瑞熱控**加熱盤以溫度與壓力協(xié)同控制提升鍵合質(zhì)量。采用陶瓷加熱芯與銅合金散熱基體復(fù)合結(jié)構(gòu)，加熱面平面度誤差小于 0.005mm，確保鍵合區(qū)域壓力均勻傳遞。溫度調(diào)節(jié)范圍室溫至 400℃，升溫速率達(dá) 40℃/ 秒，可快速達(dá)到鍵合溫度并保持穩(wěn)定（溫度波動(dòng) ±0.5℃），適配金 - 金、銅 - 銅等不同金屬鍵合工藝。配備壓力傳感器與位移監(jiān)測(cè)模塊，實(shí)時(shí)反饋鍵合過(guò)程中的壓力變化與芯片位移，通過(guò)閉環(huán)控制實(shí)現(xiàn)壓力（0.1-10MPa）與溫度的精細(xì)匹配。與 ASM 太平洋鍵合設(shè)備適配，使鍵合界面電阻降低至 5mΩ 以下，為高可靠性芯片互聯(lián)提供保障。

為降低半導(dǎo)體加熱盤的熱量損耗，國(guó)瑞熱控研發(fā)**隔熱組件，通過(guò)多層復(fù)合結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高效保溫。組件內(nèi)層采用耐高溫隔熱棉，熱導(dǎo)率* 0.03W/(m?K)，可有效阻隔加熱盤向設(shè)備腔體的熱量傳遞；外層選用金屬防護(hù)殼，兼具結(jié)構(gòu)強(qiáng)度與抗腐蝕性能，適配半導(dǎo)體潔凈車間環(huán)境。隔熱組件與加熱盤精細(xì)貼合，安裝拆卸便捷，不影響加熱盤的正常維護(hù)與更換。通過(guò)隔熱組件應(yīng)用，可使加熱盤熱量利用率提升 15% 以上，降低設(shè)備整體能耗，同時(shí)減少設(shè)備腔體溫升，延長(zhǎng)周邊部件使用壽命。適配國(guó)瑞全系列半導(dǎo)體加熱盤，且可根據(jù)客戶現(xiàn)有加熱盤尺寸定制，為半導(dǎo)體生產(chǎn)線的能耗優(yōu)化提供實(shí)用解決方案。特殊尺寸功率定制，快速響應(yīng)需求，量身打造方案。

針對(duì)晶圓清洗后的烘干環(huán)節(jié)，國(guó)瑞熱控**加熱盤以潔凈高效的特性適配嚴(yán)苛需求。產(chǎn)品采用高純不銹鋼基材，表面經(jīng)電解拋光與鈍化處理，粗糙度 Ra 小于 0.2μm，減少水分子附著與雜質(zhì)殘留。加熱面采用蜂窩狀導(dǎo)熱結(jié)構(gòu)，使熱量均勻分布，晶圓表面溫度差控制在 ±2℃以內(nèi)，避免因局部過(guò)熱導(dǎo)致的晶圓翹曲。溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋 50℃至 150℃，支持階梯式升溫程序，適配不同清洗液的烘干需求。設(shè)備整體采用無(wú)死角結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，清潔時(shí)*需用高純酒精擦拭即可，符合半導(dǎo)體制造的高潔凈標(biāo)準(zhǔn)，為清洗后晶圓的干燥質(zhì)量與后續(xù)工藝銜接提供保障。設(shè)計(jì)生產(chǎn)精益求精，溫度一致性優(yōu)，動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力出色。天津半導(dǎo)體晶圓加熱盤

緊湊設(shè)計(jì)節(jié)省空間，輸出熱量強(qiáng)大均勻，受限環(huán)境理想選擇。天津半導(dǎo)體晶圓加熱盤

針對(duì)車載半導(dǎo)體高可靠性需求，國(guó)瑞熱控測(cè)試加熱盤適配 AEC-Q100 標(biāo)準(zhǔn)。采用**級(jí)鋁合金基材，通過(guò) - 55℃至 150℃高低溫循環(huán)測(cè)試 5000 次無(wú)變形，加熱面平整度誤差小于 0.03mm。溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋 - 40℃至 200℃，升降溫速率達(dá) 30℃/ 分鐘，可模擬車載芯片在極端環(huán)境下的工作狀態(tài)。配備 100 組可編程溫度曲線，支持持續(xù) 1000 小時(shí)老化測(cè)試，與比亞迪半導(dǎo)體、英飛凌等企業(yè)適配，通過(guò)溫度沖擊、濕熱循環(huán)等可靠性驗(yàn)證，為新能源汽車電控系統(tǒng)提供質(zhì)量保障。天津半導(dǎo)體晶圓加熱盤

無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才，集企業(yè)奇思，創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡，一群有夢(mèng)想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開創(chuàng)新天地，繪畫新藍(lán)圖，在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的信譽(yù)，信奉著“爭(zhēng)取每一個(gè)客戶不容易，失去每一個(gè)用戶很簡(jiǎn)單”的理念，市場(chǎng)是企業(yè)的方向，質(zhì)量是企業(yè)的生命，在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下，全體上下，團(tuán)結(jié)一致，共同進(jìn)退，**協(xié)力把各方面工作做得更好，努力開創(chuàng)工作的新局面，公司的新高度，未來(lái)無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來(lái)，即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績(jī)，也不足以驕傲，過(guò)去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，才能繼續(xù)上路，讓我們一起點(diǎn)燃新的希望，放飛新的夢(mèng)想！