面向半導體新材料研發場景，國瑞熱控高溫加熱盤以寬溫域與高穩定性成為科研工具！采用石墨與碳化硅復合基材，工作溫度范圍覆蓋500℃-2000℃，可通過程序設定實現階梯式升溫，升溫速率調節范圍0.1-10℃/分鐘！加熱面配備24組測溫點，實時監測溫度分布，數據采樣頻率達10Hz，支持與實驗室數據系統對接！設備體積緊湊（直徑30cm），重量*5kg，配備小型真空腔體與惰性氣體接口，適配薄膜沉積、晶體生長等多種實驗需求，已服務于中科院半導體所等科研機構！接口布線密封精心設計，確保整體性能穩定，延長使用壽命。蘇州探針測試加熱盤供應商

國瑞熱控推出半導體加熱盤**溫度監控軟件，實現加熱過程的數字化管理與精細控制。軟件具備實時溫度顯示功能，可通過圖表直觀呈現加熱盤各區域溫度變化曲線，支持多臺加熱盤同時監控，方便生產線集中管理。內置溫度數據存儲與導出功能，可自動記錄加熱過程中的溫度參數，存儲時間長達 1 年，便于工藝追溯與質量分析。具備溫度異常報警功能，當加熱盤溫度超出設定范圍或出現波動異常時，自動發出聲光報警并記錄異常信息，提醒操作人員及時處理。軟件兼容 Windows 與 Linux 操作系統，通過以太網與加熱盤控制系統連接，安裝調試便捷，適配國瑞全系列半導體加熱盤，為半導體生產線的智能化管理提供技術支持。南通陶瓷加熱盤生產廠家靈活功率配置可選，滿足不同溫度需求，應用范圍廣泛多樣。

針對原子層沉積工藝對溫度的嚴苛要求，國瑞熱控 ALD **加熱盤采用多分區溫控設計，通過仿真優化加熱絲布局，確保表面溫度分布均勻性符合精密制程標準。設備溫度調節范圍覆蓋室溫至 600℃，升溫速率可達 25℃/ 分鐘，搭配鉑電阻傳感器實現 ±0.1℃的控溫精度，滿足 ALD 工藝中前驅體吸附與反應的溫度窗口需求。采用氮化鋁陶瓷基底與密封結構，在真空環境下無揮發性物質釋放，且能抵御反應腔體內腐蝕性氣體侵蝕。適配 8 英寸至 12 英寸晶圓規格，通過標準化接口與拓荊、中微等廠商的 ALD 設備無縫兼容，為原子層沉積的高保形性薄膜制備提供保障。

針對等離子體刻蝕環境的特殊性，國瑞熱控配套加熱盤采用藍寶石覆層與氮化鋁基底的復合結構，表面硬度達莫氏9級，可耐受等離子體長期轟擊而無材料脫落！加熱盤內部嵌入鉬制加熱絲，經后嵌工藝固定，避免高溫下電極氧化影響加熱性能，工作溫度范圍覆蓋室溫至500℃，控溫精度±1℃！底部設計環形冷卻通道，與加熱元件形成熱平衡調節系統，快速響應刻蝕過程中的溫度波動！設備采用全密封結構，電氣強度達2000V/1min，在氟基、氯基刻蝕氣體環境中絕緣性能穩定，適配中微半導體刻蝕機等主流設備，為圖形轉移工藝提供可靠溫控！便于自動化集成，標準接口通訊支持，助力智能制造。

國瑞熱控12英寸半導體加熱盤專為先進制程量產需求設計，采用氮化鋁陶瓷與高純銅復合基材，通過多道精密研磨工藝，使加熱面平面度誤差控制在0.015mm以內，完美貼合大尺寸晶圓的均勻受熱需求！內部采用分區式加熱元件布局，劃分8個**溫控區域，配合高精度鉑電阻傳感器，實現±0.8℃的控溫精度，滿足7nm至14nm制程對溫度均勻性的嚴苛要求！設備支持真空吸附與靜電卡盤雙重固定方式，適配不同類型的反應腔結構，升溫速率達20℃/分鐘，工作溫度范圍覆蓋室溫至600℃，可兼容PVD、CVD、刻蝕等多道關鍵工藝！通過與中芯國際、長江存儲等企業的深度合作，已實現與國產12英寸晶圓生產線的無縫對接，為先進制程規模化生產提供穩定溫控支撐！表面特殊處理，耐腐蝕易清潔，適用化學食品領域。金山區半導體加熱盤生產廠家

表面噴涂特殊涂層，防腐防氧化，延長設備使用壽命。蘇州探針測試加熱盤供應商

為降低半導體加熱盤的熱量損耗，國瑞熱控研發**隔熱組件，通過多層復合結構設計實現高效保溫！組件內層采用耐高溫隔熱棉，熱導率*0.03W/(m?K)，可有效阻隔加熱盤向設備腔體的熱量傳遞；外層選用金屬防護殼，兼具結構強度與抗腐蝕性能，適配半導體潔凈車間環境！隔熱組件與加熱盤精細貼合，安裝拆卸便捷，不影響加熱盤的正常維護與更換！通過隔熱組件應用，可使加熱盤熱量利用率提升15%以上，降低設備整體能耗，同時減少設備腔體溫升，延長周邊部件使用壽命！適配國瑞全系列半導體加熱盤，且可根據客戶現有加熱盤尺寸定制，為半導體生產線的能耗優化提供實用解決方案！蘇州探針測試加熱盤供應商

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標，有組織有體系的公司，堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明，攜手共畫藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源，也收獲了良好的用戶口碑，為公司的發展奠定的良好的行業基礎，也希望未來公司能成為*****，努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量，我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息，斗志昂揚的的企業精神將**無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手步入輝煌，共創佳績，一直以來，公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針，員工精誠努力，協同奮取，以品質、服務來贏得市場，我們一直在路上！