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煙臺氣冷羅茨真空機組

來源: 發布時間:2025-12-22

羅茨真空泵作為容積式真空設備的典型,憑借抽速大、運行穩定等特點,廣闊應用于化工、半導體、食品加工等領域。而氣冷羅茨真空泵通過創新性的氣體冷卻技術,突破了傳統羅茨泵的溫差限制,在高壓差、高負載工況下展現出獨特優勢。氣冷羅茨真空泵的工作原理以“容積式抽氣”為重點,其結構與傳統羅茨泵一脈相承,但通過氣冷系統的優化,實現了更高壓差下的穩定運行。具體可分為基礎結構構成和抽氣循環過程兩部分。氣冷羅茨真空泵的重點結構由泵殼、兩個呈“8”字形的共軛轉子、同步齒輪、軸承及氣冷組件構成,其中轉子與泵腔的精密配合是抽氣效率的關鍵:轉子設計:兩個轉子采用對稱分布的“8”字形結構(也稱為“羅茨型線”),材質多為球墨鑄鐵(QT400-15)或較高的強度合金(如316不銹鋼),經精密加工后,轉子間及轉子與泵殼內壁的間隙控制在0.1-0.2mm之間。淄博干式真空泵有限公司以技術研發、創新為先導。煙臺氣冷羅茨真空機組

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這種極小間隙既能避免轉子旋轉時的機械摩擦,又能通過“密封效應”減少氣體返流,保證抽氣效率。同步傳動:轉子通過兩端的同步齒輪實現反向等速旋轉(轉速通常為1500-3000r/min),齒輪精度達到ISO5級以上,確保轉子在高速運行中始終保持對稱位置,避免碰撞。氣冷組件集成:與傳統羅茨泵不同,氣冷型泵在泵殼側面或排氣口位置增設冷卻氣體入口、回流管路及內置冷卻器(如翅片式換熱器),冷卻氣體(通常為潔凈空氣或氮氣)可直接進入泵腔接觸轉子表面,形成實時散熱通道。氣冷羅茨真空泵的抽氣過程通過轉子的連續旋轉完成,可細分為四個階段,每個階段均依賴容積變化實現氣體傳輸,同時氣冷系統全程介入以控制溫升:當轉子旋轉至特定角度時,兩個轉子與泵殼之間形成一個逐漸擴大的封閉空間(稱為“吸氣腔”),此時進氣口與吸氣腔連通,被抽氣體在壓差作用下進入吸氣腔。煙臺氣冷羅茨真空機組淄博干式真空泵有限公司立足現在面向未來。

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內置式氣冷是指通過在泵的重點發熱部件(如轉子、泵腔內壁)內部設置氣體通道,將冷卻氣體直接引入發熱區域的冷卻方式。其重點設計包括:轉子內置冷卻通道:在羅茨轉子(通常為8字形或漸開線齒形)內部沿軸向或徑向加工中空通道,通道兩端通過旋轉密封裝置(如機械密封、磁性流體密封)與外部氣源連接。冷卻氣體(如干燥空氣、氮氣)經通道流入轉子內部,在轉子高速旋轉(通常1000-3000r/min)過程中,直接吸收轉子因氣體壓縮和摩擦產生的熱量,隨后從通道另一端排出。泵腔內壁氣冷槽:在泵腔內壁加工環形或螺旋形凹槽,冷卻氣體沿凹槽流動,直接冷卻與被抽氣體接觸的腔壁,減少氣體壓縮時的熱量向泵體傳導。

羅茨真空泵作為一種容積式真空獲得設備,憑借其抽氣速率穩定、壓縮比高、結構緊湊等特點,廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、化工反應等領域。其中,氣冷羅茨真空泵通過創新性的氣體冷卻系統,解決了傳統羅茨泵在高速運行或處理高溫氣體時的過熱問題,進一步拓展了其應用場景。抽氣速率作為衡量真空泵性能的重點指標,直接決定了設備的工作效率和適用范圍。在探討氣冷羅茨真空泵的抽氣速率之前,需先明確抽氣速率的基本概念。**抽氣速率(PumpingSpeed)**指單位時間內真空泵在入口處所能抽除的氣體體積,單位通常為m3/h(立方米每小時)或L/s(升每秒)。其計算公式為:\(S=Q/P\),其中\(S\)為抽氣速率,\(Q\)為氣體流量(單位為Pa·m3/s),\(P\)為入口壓力(單位為Pa)。淄博干式真空在“和諧共贏、創造發展”的服務理念指引下,與您攜手打造行業可信品牌!

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冷卻器設計,冷卻器是氣冷系統的“降溫重點”,常見類型包括:翅片式空氣冷卻器:通過風機強制風冷,適用于中小功率泵(如抽速≤1000L/s),降溫效率約30-40%;套管式水冷冷卻器:若現場有水源,可搭配使用,降溫效率達60-70%,適合大功率泵(抽速≥2000L/s)。氣體分配與導流結構,冷卻氣體需均勻分布在泵腔內部,避免局部散熱不足。設計上采用“多入口對稱導流”:在泵殼兩側設置2-4個冷卻氣體入口,每個入口配備導流板,使氣體沿轉子軸向均勻沖刷表面。某測試顯示,采用對稱導流的泵體,轉子兩端溫差可控制在5℃以內,遠低于非對稱設計的15℃。淄博干式真空泵有限公司產品深受廣大客戶的一致好評。寧夏氣冷羅茨真空泵維修

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此外,氣冷羅茨泵需與前級泵(如旋片泵、爪式泵)配合使用(羅茨泵不能單獨啟動,需前級泵預抽至1~10Pa),前級泵的抽氣速率需≥羅茨泵的“較大排氣速率”,否則會導致氣體在泵內滯留,降低羅茨泵的實際抽氣速率。羅茨泵的抽氣速率在“中真空區間”(1~1000Pa)較穩定,而在低真空(>1000Pa)或高真空(<1Pa)時會下降,原因如下:低真空時,氣體密度高,轉子與泵腔的間隙中氣體“粘性泄漏”明顯(類似液體從縫隙流出),導致實際抽氣速率低于理論值;高真空時,氣體分子密度低,分子自由程大于間隙尺寸,氣體通過“分子流泄漏”回流,抽氣速率隨壓力降低而下降。氣冷系統對入口壓力的影響間接體現:通過穩定溫度,避免因壓力波動導致的熱變形,從而減少泄漏量。例如,在入口壓力10Pa時,氣冷泵的泄漏量比非氣冷泵低20%,抽氣速率維持率更高。煙臺氣冷羅茨真空機組

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