羅茨真空泵啟動前需做好準備工作，打開冷卻水進水閥檢查水流是否暢通；外伸軸油杯注滿潤滑油，齒輪箱及軸承箱油位需達油窗直徑 3/4 以上，優先使用公司推薦的100號（粘度 46）真空泵油。若抽吸氣體含粉塵或顆粒，進氣口前需裝除塵器或過濾器；含腐蝕性氣體需先中和或吸附處理；含少量水蒸汽且前級泵為油封機械泵時，油封機械泵應帶氣鎮裝置，水蒸汽過多則需在羅茨泵或前級泵進氣口前裝冷凝器。啟動需遵循特定程序，先啟動前級泵，打開前級泵預抽管道閥門及羅茨泵進排氣管道閥門；待系統壓力降至羅茨泵允許入口壓力后，關閉預抽管道閥門再啟動羅茨泵，無預抽管道則前級泵抽到允許壓力后直接啟動，自動控制裝置可實現自動啟動。運轉中要嚴格按技術參數使用，正常入口壓力需在 1330Pa 以下，不超允許比較高入口壓力；關注電機負荷與各部位溫升，正常運轉時比較高溫升不超 50℃，最高溫度不超 90℃；留意是否有異常振動與噪聲，若出現電機過載、溫升過高、聲音異常、振動大等情況，需立即停機排查故障。新泵***使用初期，需每小時記錄真空、噪聲、溫升、震動等技術參數。羅茨真空泵的轉子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。山東干式羅茨真空泵結構

為滿足半導體、電子工業等對無油清潔真空的需求，干式羅茨真空泵發展迅速，其中多級羅茨真空泵為主流，美日等國已開發系列產品應用于相關工業。“多級” 指在轉子軸上串聯多級羅茨型轉子，各級由中間壁隔離形成**泵腔，通過氣流通道連接，各級轉子直徑和形狀相同，寬度向高壓側可能變窄，常采用氣冷式三葉轉子增加壓縮比。被抽氣體從***級進氣口進入，經逐級壓縮后從***一級排氣口排出，理論抽速取決于***級，卻能實現高壓縮比，可直排大氣無需前級泵，避免油氣污染。3-6 級羅茨泵可從大氣壓抽到極限壓力 1Pa，高壓力差可能導致轉子過熱，需在高壓段氣冷控制溫度，冷卻氣體返流會損失抽速。為防止潤滑油返流，泵腔與齒輪箱需隔離或密封，齒輪箱也可另設真空泵排氣，多級羅茨泵在無油清潔真空領域具有重要地位和廣闊應用前景。浙江ZJQ氣冷式羅茨真空泵維修羅茨泵抽速與前級泵抽速關系，取決于容積效率和許可壓力差。

金屬粉末燒結需嚴格控制真空度以避免氧化與成分偏析，羅茨真空泵的干式無油特性與動態壓力調節能力完美契合這一需求。在不銹鋼、航天鈦合金粉末燒結中，其配套的實時漏率監測系統可將漏率控制在 1×10?1?Pa?m3/s 以內，確保燒結全程真空環境穩定。升溫速率 5-15℃/min 可調的工藝中，羅茨真空泵能同步適配不同階段的抽氣需求：低溫階段快速抽除水分與易揮發雜質，高溫階段則緩慢抽取合金內部擴散出的氫、氮氣體，防止粉末團聚與成品疏松。燒結結束后，配合惰性氣體反充裝置，可實現快速冷卻，使零件致密度達到 98% 以上，滿足航天領域對抗拉強度的嚴苛要求。

羅茨真空泵又稱機械增壓泵，屬旋轉式容積真空泵，**結構包含泵殼與兩個 8 字型轉子。轉子平行安裝在一對軸上，通過傳動比為 1 的同步齒輪驅動，實現等速反向旋轉，且轉子間、轉子與泵殼間保持特定間隙不接觸，運轉時摩擦損失小、功率消耗低，可高速運轉。轉子由泵殼兩側端蓋的滾動軸承支承，借助可調同步齒輪確保高速旋轉時的相對位置，固定端特殊結構保障轉子與端蓋的端面間隙，使泵受熱時*向齒輪箱一端膨脹。兩側端蓋內的四組聚四氟乙烯活塞環密封裝置，能防止油箱潤滑油進入泵腔，出軸處的平衡式機械密封可避免大氣漏入。冷卻方式通常為風冷，高壓力工況下推薦選用水冷結構，電動機動力經聯軸器傳給主動軸，再通過同步齒輪帶動從動軸旋轉，ZJ 系列為臥式結構，多采用聯軸器與電機直聯，特殊需求可選用三角帶傳動。ZJP 型是 ZJ 型的派生產品，抽氣原理相同，但進排氣口連通且通道上垂直安裝重力閥。當進排氣口壓力差與閥有效作用面積的乘積超閥頭自重時，閥自動開啟，此數值為泵可靠運轉的比較高壓力差，使其具備過載自動保護功能。理論上 ZJP 型可在大氣壓下與前級泵同步啟動，但系統容積大時，旁通閥開啟時間長，有效抽速小，經濟性差，建議前級泵抽到一定壓力后再啟動 ZJP 型。羅茨泵是雙轉子容積泵，轉子反向旋轉，經吸氣、外壓縮、排氣抽氣。

羅茨真空泵是一種旋轉式變容真空泵，**工作部件為泵腔內一對 “8” 字形轉子。這兩個轉子相互垂直安裝在平行軸上，由傳動比為 1 的齒輪驅動，做反向同步旋轉運動。轉子間、轉子與泵殼內壁間保持 0.1~0.8 毫米的微小間隙，既不接觸又能實現高轉速運行。當轉子轉動時，進氣口側形成封閉空間吸入氣體，隨轉子旋轉推送至排氣口，因排氣側壓強大，部分氣體返沖后被排出，完成抽氣循環。其工作過程可按轉子旋轉角度拆解：0° 時，下轉子封入定量氣體；45° 時該封閉空間與排氣口相通，高壓氣體返沖；90° 時，封入氣體與返沖氣體一同排出，同時上轉子完成吸氣；135° 時上轉子封閉空間與排氣口相通，重復排氣過程，主軸旋轉一周共排出四倍封入體積的氣體。這種無內壓縮的工作方式決定其壓縮比低，中高真空應用需搭配前級泵。
羅茨泵轉子幾何對稱性好，運轉振動小、噪音低，摩擦損失小，驅動功率低，可實現高轉速運行。浙江國產羅茨真空泵哪個型號好

羅茨真空泵運行可靠，降低生產過程中的風險。山東干式羅茨真空泵結構

羅茨泵有效抽氣量 Qeff 是理論抽氣量 Qth 與間隙返流量 Qv 之差。理論抽氣量 Qth 與入口壓力 pA 和幾何抽速 Sth 相關，返流量 Qv 由轉子與泵體間隙泄漏量 Qv1 和轉子返流速率相關的 Qv2 組成，間隙泄漏量與流導 L、前級壓力 pV 有關，轉子返流則因轉子吸附和解吸氣體、有害空間氣體攜帶等。零流量壓縮比 K0 是重要性能參數，指泵口封閉時出口壓力與入口壓力比值，與氣體種類相關，有最大值 Komax。其值受出口壓力影響，在較高出口壓力時因間隙流導處于黏滯流態而下降，低出口壓力時受轉子返流影響也下降，在約 10?Pa 附近達最大值，且大容量羅茨泵 K0 更高。羅茨泵機組極限壓力 pA,e 由前級泵極限壓力 pv,e 與其對應壓縮比 K0,e 之比求得，雙級羅茨泵壓縮比約為單級乘積，可獲更低極限壓力。山東干式羅茨真空泵結構

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