本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機(jī)械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī)、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī)、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。 機(jī)械手的剛度、偏重力矩、慣性力及緩沖效果都直接影響手臂的位置精度。南通進(jìn)口晶圓運送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價

傳感系統(tǒng)是晶圓運送機(jī)械吸臂實現(xiàn)精確操作的關(guān)鍵。它猶如吸臂的“眼睛”和“神經(jīng)”，實時監(jiān)測吸臂的位置、姿態(tài)以及晶圓的狀態(tài)，為控制系統(tǒng)提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)反饋。在位置和姿態(tài)檢測方面，通常采用高精度的編碼器、陀螺儀和激光傳感器等。編碼器可以精確測量吸臂關(guān)節(jié)的旋轉(zhuǎn)角度和直線位移，從而確定吸臂在空間中的位置坐標(biāo)。陀螺儀則用于監(jiān)測吸臂的旋轉(zhuǎn)速度和方向變化，幫助控制系統(tǒng)實時調(diào)整運動姿態(tài)，確保吸臂的運動平穩(wěn)和準(zhǔn)確。激光傳感器可以對周圍環(huán)境進(jìn)行掃描和測距，輔助吸臂在復(fù)雜的工作場景中避開障礙物，實現(xiàn)安全的晶圓搬運。江西進(jìn)口晶圓運送機(jī)械吸臂企業(yè)科學(xué)家已經(jīng)研制出了橡膠機(jī)器手臂，可以抓起螞蟻而不是捏死。

一種用于傳送晶圓的真空吸附機(jī)械手，其特征在于，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內(nèi)；在垂直于所述手臂的方向上，所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機(jī)械手。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜，對設(shè)備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

如剛性差則會引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側(cè)向扭轉(zhuǎn)變形.

 晶圓是半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，晶圓的搬運技術(shù)逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵因素。晶圓搬運機(jī)械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機(jī)械手：大氣機(jī)械手（FI robot) 和真空機(jī)械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預(yù)對準(zhǔn)設(shè)備上，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求，控制精度要求相對較低。后者將晶圓從預(yù)對準(zhǔn)設(shè)備上取下，搬運到各個工位進(jìn)行刻蝕等工藝流程加工，并將加工完的晶圓搬運到接口位置，等待大氣機(jī)械手放回晶圓盒。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進(jìn)行，機(jī)械手必須要完全滿足真空潔凈度要求，控制精度和可靠性要求極高。對于半導(dǎo)體制造應(yīng)用來說，常用的機(jī)械手臂是用來搬送晶片.浙江正規(guī)晶圓運送機(jī)械吸臂

隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng)。南通進(jìn)口晶圓運送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價

場景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán)，場景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來的期望空間越大，而如果一款技術(shù)誕生沒有實際的應(yīng)用場景，即無法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中，這對它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。

機(jī)械手臂的應(yīng)用場景有哪些呢？它的應(yīng)用特點十分明顯，主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動作。如果工作場景符合上述兩個特點，機(jī)械手臂都可以得到應(yīng)用。

機(jī)械手臂應(yīng)用場景多在制造業(yè)，有重工業(yè)屬性，如金屬加工、拋光打磨、裝配、機(jī)床上下料、碼垛/搬運、橡膠/塑料、分揀等。 南通進(jìn)口晶圓運送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價

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