冷陰極真空計（ColdCathodeGauge，如潘寧計）原理：基于高壓電場與磁場協(xié)同作用下的氣體放電效應(yīng)。結(jié)構(gòu)包含兩個陰極和一個陽極，外加軸向磁場。高壓電場使陰極發(fā)射電子，電子在磁場中螺旋運動，增加與氣體分子的碰撞概率，導(dǎo)致電離。電離產(chǎn)生的正離子被陰極捕獲，形成離子電流，其大小與氣體分子密度成正比。特點：量程：通常為10?6Torr至10?3Torr，適合中高真空。優(yōu)點：無加熱元件，結(jié)構(gòu)簡單、壽命長。對振動不敏感（適合航天等惡劣環(huán)境）。局限性：低真空下響應(yīng)慢（需足夠殘余氣體維持放電）。測量結(jié)果可能受磁場均勻性影響。本質(zhì)區(qū)別總結(jié)類型**物理效應(yīng)信號來源適用量程對氣體種類敏感性皮拉尼計熱傳導(dǎo)效應(yīng)金屬絲電阻變化低真空至中真空高（需校準(zhǔn)）熱陰極電離計氣體電離效應(yīng)離子電流高真空至超高真空低（可忽略）冷陰極計（潘寧）高壓電場+磁場放電效應(yīng)離子電流中高真空低。 對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應(yīng)采用復(fù)合真空計，較多的是電離與熱偶式復(fù)合真空計。發(fā)展真空計維修

熱偶真空計◇工作原理與測量范圍熱偶真空計使用熱絲與熱電偶組合間接測量真空度。其測量范圍在10-2至103Pa之間。熱偶真空計包含加熱燈絲與熱電偶，通過測量熱偶電動勢來確定真空度。在測量過程中，燈絲通以恒定電流，熱量的部分會在燈絲與熱偶絲之間傳導(dǎo)。影響測量結(jié)果的因素?zé)崤颊婵沼嫷臏y量結(jié)果受氣體種類及溫度變化影響。此外，熱絲可能會因氧化導(dǎo)致零點漂移，從而帶來測量誤差。因此，在進行測量時，需根據(jù)氣體種類進行相應(yīng)的修正，使用者應(yīng)定期調(diào)整加熱電流，并重新校正電流值。進口真空計一般多少錢如果大家仔細(xì)觀察很多現(xiàn)代真空技術(shù)生產(chǎn)線設(shè)備，會發(fā)現(xiàn)這種Tamagawa真空計小部件，應(yīng)用繁多。

電離真空計的構(gòu)造與測量機制電離真空計是一種廣泛應(yīng)用于真空度測量的儀器，其工作原理基于氣體分子的電離。根據(jù)氣體電離源的不同，電離真空計可分為熱陰極和冷陰極兩大類。電離真空計通過氣體電離產(chǎn)生離子流測量壓強，類型多樣，適合不同真空度范圍。該儀器主要由三個電極組成：發(fā)射電子的燈絲作為發(fā)射極A，負(fù)責(zé)加速電子的柵極（或稱為加速極）B，以及收集離子的圓筒型電極C。電阻真空計，作為熱傳導(dǎo)真空計的一種，其工作原理是利用測量真空中熱絲的溫度來間接獲得真空度的大小。

利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的真空計：皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)：利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作，通過測量熱絲電阻大小推算氣壓大小。其測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱電偶規(guī)：與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，但使用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。測量范圍也一般在0.1Pa至1000Pa。利用帶電粒子效應(yīng)的真空計：熱陰極電離規(guī)：由熱陰極發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，通過測量離子電流的大小推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。其測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。冷陰極電離規(guī)：利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子，再進***壓測量。其測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。相關(guān)商品品質(zhì)精選、專業(yè)服務(wù)通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導(dǎo)真空計。

NC610A真空計廣泛應(yīng)用于光伏、太陽能等行業(yè)的真空爐上。冷陰極型（如潘寧計）：利用高壓電場和磁場使殘余氣體電離，無需加熱陰極。離子電流同樣與氣體分子密度相關(guān)。特點：量程：通常為10?9Torr至10?3Torr，適合高真空至超高真空。優(yōu)點：高真空下精度高（信號與氣體分子密度直接相關(guān)）。對氣體種類不敏感（電離截面差異可忽略）。局限性：熱陰極型需加熱陰極，可能污染系統(tǒng)（蒸發(fā)材料）。冷陰極型在低真空下可能無法啟動（需足夠殘余氣體維持真空計電離）。與熱陰極電離真空計一樣，利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關(guān)的特性，用放電電流做為真空度的測量。進口真空計一般多少錢

薄膜真空計是一種直接測量式的全壓型的真空計。發(fā)展真空計維修

熱傳導(dǎo)真空計是一種測量低真空的真空計，顧名思義，就是利用熱量變化來測量真空的儀器。它的原理就是將一根金屬絲通電加熱，由于氣體分子的運動會帶走一部分熱量，因此達(dá)到熱平衡時溫度越高，就說明氣體導(dǎo)走的熱量越少，氣體分子密度越小，也就是壓強越低，真空度越高。電離真空計是目前采用**廣的真空計，是一種測量高真空的真空計，只有在真空抽到一定量級時才可以打開。它的工作原理為：具有足夠能量的電子與氣體分子碰撞，使氣體分子電離，產(chǎn)生正離子和電子；電子在運動過程中與分子碰撞的次數(shù)正比于分子數(shù)密度，也即壓強P，因此產(chǎn)生的正離子數(shù)就正比于壓強P，可以通過測量正離子的多少來標(biāo)定真空度的高低。發(fā)展真空計維修