LPCVD是低壓化學(xué)氣相沉積（LowPressureChemicalVaporDeposition）的簡稱，是一種在低壓條件下利用氣態(tài)化合物在基片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并形成穩(wěn)定固體薄膜的工藝。LPCVD是一種常用的CVD工藝，與常壓CVD（APCVD）、等離子體增強CVD（PECVD）、高密度等離子體CVD（HDPCVD）和原子層沉積（ALD）等其他CVD工藝相比，具有一些獨特的特點和優(yōu)勢。LPCVD的原理是利用加熱設(shè)備作為熱源，將基片放置在反應(yīng)室內(nèi)，并維持一個低壓環(huán)境（通常在10-1000Pa之間）。然后向反應(yīng)室內(nèi)輸送含有所需薄膜材料元素的氣體或液體前驅(qū)體，使其與基片表面接觸并發(fā)生熱分解或氧化還原反應(yīng)，從而在基片表面沉積出所需的薄膜材料。LPCVD可以沉積多種類型的薄膜材料，如多晶硅、氮化硅、氧化硅、氧化鋁、二硫化鉬等。真空鍍膜可明顯提高產(chǎn)品的使用壽命。無錫小家電真空鍍膜

目前認(rèn)為濺射現(xiàn)象是彈性碰撞的直接結(jié)果，濺射完全是動能的交換過程。當(dāng)正離子轟擊陰極靶，入射離子撞擊靶表面上的原子時，產(chǎn)生彈性碰撞，它直接將其動能傳遞給靶表面上的某個原子或分子，該表面原子獲得動能再向靶內(nèi)部原子傳遞，經(jīng)過一系列的級聯(lián)碰撞過程，當(dāng)其中某一個原子或分子獲得指向靶表面外的動量，并且具有了克服表面勢壘(結(jié)合能)的能量，它就可以脫離附近其它原子或分子的束縛，逸出靶面而成為濺射原子。ITO薄膜的磁控濺射靶主要分為InSn合金靶、In2O3-SnO2陶瓷靶兩類。在用合金靶制備ITO薄膜時,由于濺射過程中作為反應(yīng)氣體的氧會和靶發(fā)生很強的電化學(xué)反應(yīng),靶面覆蓋一層化合物,使濺射蝕損區(qū)域縮得很小(俗稱“靶中毒”),以至很難用直流濺射的方法穩(wěn)定地制備出高質(zhì)的ITO膜。陶瓷靶因能抑制濺射過程中氧的選擇性濺射,能穩(wěn)定地將金屬銦和錫與氧的反應(yīng)物按所需的化學(xué)配比穩(wěn)定地成膜,故無中毒現(xiàn)象,工藝窗口寬,穩(wěn)定性好。河源光學(xué)真空鍍膜真空鍍膜技術(shù)保證了零件的耐腐蝕性。

使用PECVD，高能電子可以將氣體分子激發(fā)到足夠活躍的狀態(tài)，使得在相對低溫下就能發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。這對于敏感于高溫或者不能承受高溫處理的材料（如塑料）來說是一個重要的優(yōu)勢。等離子體中的反應(yīng)物質(zhì)具有很高的動能，可以使得它們在各種表面，包括垂直和傾斜的表面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。這就使得PECVD可以在基板的全范圍內(nèi)，包括難以接觸的區(qū)域，形成高質(zhì)量的薄膜。在PECVD過程中，射頻能量引發(fā)原料氣體形成等離子體。這個等離子體由高能電子和離子組成，它們能夠在各種表面進行化學(xué)反應(yīng)。這就使得反應(yīng)物質(zhì)能夠均勻地分布在整個基板上，從而形成均勻的薄膜。且PECVD可以在相對低溫下進行，因此基板上的熱效應(yīng)對薄膜的形成影響較小。這進一步有助于保持薄膜的均勻性。

LPCVD設(shè)備可以沉積多種類型的薄膜材料，如多晶硅、氮化硅、氧化硅、碳化硅等。設(shè)備通常由以下幾個部分組成：真空系統(tǒng)、氣體輸送系統(tǒng)、反應(yīng)室、加熱系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、流量控制系統(tǒng)等。LPCVD設(shè)備的缺點主要有以下幾點：（1）由于高溫條件下襯底材料會發(fā)生熱膨脹和熱應(yīng)力，使得襯底材料可能出現(xiàn)變形、開裂、彎曲等問題；（2）由于高溫條件下襯底材料會發(fā)生熱擴散和熱反應(yīng)，使得襯底材料可能出現(xiàn)雜質(zhì)摻雜、界面反應(yīng)、相變等問題；（3）由于高溫條件下氣體前驅(qū)體會發(fā)生熱分解和熱聚合，使得氣體前驅(qū)體可能出現(xiàn)不穩(wěn)定性、副反應(yīng)、沉積速率降低等問題；（4）LPCVD設(shè)備需要較大的真空泵和加熱功率，使得設(shè)備成本和運行成本較高真空鍍膜過程中需避免鍍膜材料污染。

LPCVD設(shè)備中較新的是垂直式LPCVD設(shè)備，因為其具有結(jié)構(gòu)緊湊、氣體分布均勻、薄膜厚度一致、顆粒污染少等優(yōu)點。垂直式LPCVD設(shè)備可以根據(jù)不同的氣體流動方式進行分類。常見的分類有以下幾種：（1）層流式垂直LPCVD設(shè)備，是指氣體從反應(yīng)室下方進入，沿著垂直方向平行流動，從反應(yīng)室上方排出；（2）湍流式垂直LPCVD設(shè)備，是指氣體從反應(yīng)室下方進入，沿著垂直方向紊亂流動，從反應(yīng)室上方排出；（3）對流式垂直LPCVD設(shè)備，是指氣體從反應(yīng)室下方進入，沿著垂直方向循環(huán)流動，從反應(yīng)室下方排出。反應(yīng)氣體過量就會導(dǎo)致靶中毒。無錫鈦金真空鍍膜

沉積工藝也可分為化學(xué)氣相沉積和物理的氣相沉積。CVD的優(yōu)點是速率快，PVD的優(yōu)點是純度高。無錫小家電真空鍍膜

PECVD技術(shù)是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上（即樣品放置的托盤）產(chǎn)生輝光放電，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的工藝氣體，這些氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。在反應(yīng)過程中，反應(yīng)氣體從進氣口進入爐腔，逐漸擴散至樣品表面，在射頻源激發(fā)的電場作用下，反應(yīng)氣體分解成電子、離子和活性基團等。這些分解物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成形成膜的初始成分和副反應(yīng)物，這些生成物以化學(xué)鍵的形式吸附到樣品表面，生成固態(tài)膜的晶核，晶核逐漸生長成島狀物，島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中，各種副產(chǎn)物從膜的表面逐漸脫離，在真空泵的作用下從出口排出。無錫小家電真空鍍膜