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青島晶圓級MEMS工藝檢測與成果轉(zhuǎn)化

來源: 發(fā)布時間:2025-12-12

寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司成立于2022年9月,是一家兼具產(chǎn)品開發(fā)能力和技術(shù)加工能力的科技型企業(yè),國家科技型中小企業(yè),寧波股權(quán)交易中心掛牌企業(yè)。啟樸芯微團(tuán)隊具有多年的MEMS智能制造與智能傳感研究經(jīng)驗(yàn),專注像元級光譜和偏振超維光學(xué)芯片研發(fā),及光學(xué)系統(tǒng)解決方案設(shè)計,將結(jié)構(gòu)輕便、精細(xì)度高、材料強(qiáng)度高、可定制性等技術(shù)優(yōu)勢賦予光譜成像系統(tǒng)的研制工藝,形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的光譜濾波芯片及其成像系統(tǒng),并通過自主掌握MEMS晶圓級加工制造能力,實(shí)現(xiàn)集成芯片和模塊化光譜成像相機(jī)的自主研制。基于加工能力、技術(shù)研發(fā)路徑優(yōu)勢,啟樸芯微持續(xù)凝聚MEMS領(lǐng)域?qū)I(yè)人才,以實(shí)現(xiàn)工藝能力的突破。青島晶圓級MEMS工藝檢測與成果轉(zhuǎn)化

青島晶圓級MEMS工藝檢測與成果轉(zhuǎn)化,MEMS工藝檢測

寧波啟樸芯微8英寸MEMS規(guī)模化加工服務(wù)ODM產(chǎn)線,是科技與創(chuàng)新的完美結(jié)合。實(shí)驗(yàn)區(qū)內(nèi),先進(jìn)的設(shè)備在有序運(yùn)轉(zhuǎn),激光隱切機(jī)精細(xì)地切割著材料,光刻機(jī)如同一位技藝精湛的“雕刻師”,在晶圓上刻畫出精細(xì)的圖案。深硅刻蝕機(jī)則以微米級的精度,雕刻出復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。電子束蒸鍍儀、鍵合機(jī)、濕法腐蝕系統(tǒng)等設(shè)備相互配合,共同完成了從原材料到成品的轉(zhuǎn)變。加工區(qū)域的**研發(fā)室里,科研人員們?nèi)找广@研,不斷探索新的技術(shù)和方法。光學(xué)實(shí)驗(yàn)室中,他們利用先進(jìn)的光學(xué)設(shè)備,對產(chǎn)品進(jìn)行嚴(yán)格的檢測和分析。百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間和微納加工實(shí)驗(yàn)室,為產(chǎn)品的質(zhì)量提供了可靠的保障。這條產(chǎn)線不僅服務(wù)了眾多高校、科研院所和科創(chuàng)企業(yè),還推動了整個行業(yè)的發(fā)展。合肥傳感檢測系統(tǒng)MEMS工藝檢測項目咨詢啟樸芯微始終堅持以客戶為中心的服務(wù)理念,遵循定制開發(fā)、項目互補(bǔ)、公司直營的運(yùn)營模式。

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寧波啟樸芯微實(shí)驗(yàn)區(qū),是科技創(chuàng)新的搖籃。先進(jìn)的設(shè)備和公司的科研人員,共同孕育著科技的希望。8英寸MEMS規(guī)模化加工服務(wù)ODM產(chǎn)線在這里不斷發(fā)展壯大,為我國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了強(qiáng)大的動力。**研發(fā)室和光學(xué)實(shí)驗(yàn)室里的創(chuàng)新成果,不斷推動著科技的進(jìn)步。百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間和微納加工實(shí)驗(yàn)室的嚴(yán)格管理,確保了產(chǎn)品的質(zhì)量。這里的一切,都彰顯著科技的力量和魅力。啟樸芯微團(tuán)隊研發(fā)的微小型光譜成像系統(tǒng),以其獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢在科技領(lǐng)域嶄露頭角。它的工作原理雖然復(fù)雜,但卻蘊(yùn)含著巨大的價值。在食品、藥品、精細(xì)零部件等加工環(huán)境中的應(yīng)用,為產(chǎn)品的質(zhì)量控制提供了有效的手段。同時,它的技術(shù)發(fā)展也為未來的科技研究提供了新的思路。隨著科技的不斷進(jìn)步,相信這一系統(tǒng)將在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用,為人類社會的發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。

寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司(以下簡稱“啟樸芯微”)是一家專注于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的企業(yè),成立于西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院的孵化體系中,并在短時間內(nèi)憑借技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件設(shè)計、工藝開發(fā)及代工服務(wù),擁有自主可控的8英寸MEMS工藝產(chǎn)線,兼容6/4英寸晶圓級加工,覆蓋光刻、深硅刻蝕、薄膜沉積、晶圓鍵合、激光切割等工藝能力,為行業(yè)提供從結(jié)構(gòu)設(shè)計到封裝測試的全鏈條服務(wù)36。其技術(shù)團(tuán)隊在MEMS領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富,尤其在光學(xué)類與SOI(絕緣體上硅)特色工藝方面具備優(yōu)勢,例如通過原子層沉積(ALD)技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度薄膜制備,提升器件性能與可靠性。啟樸芯微的生產(chǎn)過程中嚴(yán)格遵守MEMS微納加工國際標(biāo)準(zhǔn),根據(jù)客戶方需求嚴(yán)格把關(guān),質(zhì)量優(yōu)先!

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在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時代,芯片技術(shù)作為其驅(qū)動力之一,正不斷推動著各個領(lǐng)域的革新。寧波啟樸芯微以其***的實(shí)力和前瞻性的布局,在芯片領(lǐng)域綻放出耀眼光芒。其自主可控的國內(nèi)首條8英寸MEMS規(guī)模化加工服務(wù)ODM產(chǎn)線,宛如一座科技堡壘,屹立于行業(yè)前沿。實(shí)驗(yàn)區(qū)內(nèi),激光隱切機(jī)、光刻機(jī)、深硅刻蝕機(jī)等一整套先進(jìn)技術(shù)設(shè)備有序排列,這些設(shè)備如同精密的樂章演奏者,協(xié)同奏響科技創(chuàng)新的旋律。加工區(qū)域1000余平方米,不僅擁有**研發(fā)室、光學(xué)實(shí)驗(yàn)室,還配套了百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間、微納加工實(shí)驗(yàn)室。如此完備的設(shè)施,為8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級MEMS技術(shù)研發(fā)和加工制造提供了***的支持。自建立以來,這條產(chǎn)線已服務(wù)200余家高校、科研院所和科創(chuàng)企業(yè),成為推動行業(yè)發(fā)展的重要力量。同時,它先后成功獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務(wù)型示范平臺、寧波市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、浙江省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等榮譽(yù),這無疑是對其實(shí)力和貢獻(xiàn)的高度認(rèn)可。滿足客戶對于高性能、高精度產(chǎn)品服務(wù)的需求,是寧波啟樸芯微的團(tuán)隊原則。杭州傳感技術(shù)MEMS工藝檢測加速服務(wù)

以MEMS光功能芯片為中心,加以啟樸芯微前沿技術(shù)的支撐,讓傳感更智能。青島晶圓級MEMS工藝檢測與成果轉(zhuǎn)化

啟樸芯微的團(tuán)隊研發(fā)的微小型光譜成像系統(tǒng),是科技與創(chuàng)新的結(jié)晶。它的工作原理雖然復(fù)雜,但卻蘊(yùn)含著巨大的智慧。在食品、藥品、精細(xì)零部件等加工環(huán)境中的應(yīng)用,為產(chǎn)品的質(zhì)量控制提供了有效的手段。同時,它的技術(shù)發(fā)展也為未來的科技研究提供了新的思路。隨著科技的不斷進(jìn)步,相信這一系統(tǒng)將在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用,為人類社會的發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。啟樸芯微團(tuán)隊自主研發(fā)的消高反光特種視覺檢測系統(tǒng),是工業(yè)檢測領(lǐng)域的一次重大突破。它的出現(xiàn),解決了傳統(tǒng)檢測方法中的諸多難題。通過像素級定標(biāo)技術(shù)和先進(jìn)的半導(dǎo)體加工工藝,實(shí)現(xiàn)了圖像的精細(xì)分析和產(chǎn)品的高精度定位組裝。過殺率和誤判率的降低,提高了檢測效率和產(chǎn)品質(zhì)量。這一系統(tǒng)的成功應(yīng)用,標(biāo)志著我國在工業(yè)檢測領(lǐng)域達(dá)到了國際先進(jìn)水平。青島晶圓級MEMS工藝檢測與成果轉(zhuǎn)化

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