廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-23

金屬表面處理真空鍍膜時真空度無法降到設定值，先逐級排查：1) 用氦質譜檢漏，重點查法蘭、觀察窗、電極引入，漏率＞1×10???Pa·m3/s即換密封圈；2) 檢查前級泵油是否乳化或缺油，必要時換新油并開氣鎮30 min排水汽；3) 拆洗擴散泵/分子泵葉片及冷卻帽，積碳油膜會降低抽速30%以上；4) 腔壁或擋板沉積層過厚，放氣面積增大，用Ar等離子體原位刻蝕10 min或濕擦烘干；5) 確認MFC無內漏，關閉所有進氣閥觀察壓升率，應＜0.5 Pa·h?1；6) 檢查真空計規管是否老化，校準零點。經上述金屬表面處理維護，本底可恢復至≤5×10???Pa，成膜質量與重復性達標，保障連續金屬表面處理真空鍍膜生產，降低金屬表面處理停線損失。

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