廣東華升納米科技股份有限公司2025-12-13

華升納米金屬表面處理實測：白光干涉垂直分辨率<0.1nm，對RMS1μm→0.1μm的亞納米級刃口，在×50Mirau物鏡下，截止空間波長0.3μm，測得Ra=0.08μm，與AFM偏差<5%；共聚焦雖橫向分辨0.14μm，但縱向1nm，且受刃口大斜率（>70°）信號丟失，需拼接20幀，耗時長、誤差大。因此，華升納米金屬表面處理選白光干涉儀，單次掃描3秒，重復性σ=0.005μm，并配0.9NA長工作距離物鏡，避免與刀具碰撞。每批抽檢5片，數據自動上傳MES，Ra>0.12μm立即報警，實現高一致金屬表面處理批量生產，為客戶提供零缺陷金屬表面處理刃口，保障金屬表面處理長期穩定可靠。

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