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  • 3D IC納米壓印國內代理
    3D IC納米壓印國內代理

    SmartNIL是行業**的NIL技術,可對小于40 nm *的極小特征進行圖案化,并可以對各種結構尺寸和形狀進行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術相結合,可實現****的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規模制造微米級和納米級結構的低成本,大批量替代光刻技術。 *分辨率取決于過程和模板 如果需要詳細的信息,請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司。 EVG提供不同的***積壓印系統,大面積壓印機,微透鏡成型設備以及用于高 效母版制作的分步重復系統。3D IC納米...

  • 半導體設備納米壓印聯系電話
    半導體設備納米壓印聯系電話

    HERCULES ? NIL完全模塊化和集成SmartNIL ? UV-NIL系統達300毫米 結合EVG的SmartNIL一個完全模塊化平臺?技術支持AR / VR,3D傳感器,光子和生物技術生產應用 EVG的HERCULES NIL 300 mm是一個完全集成的跟 蹤系統,將清潔,抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟與EVG專有的SmartNIL大面積納米壓印光刻(NIL)工藝結合在一個平臺上,用于直徑比較大為300 mm的晶圓。它是***個基于EVG的全模塊化設備平臺和可交換模塊的NIL系統,可為客戶提供比較大的自由度來配置他們的系統,以比較好地滿足其生產需求,包括200 ...

  • 聯電納米壓印研發生產
    聯電納米壓印研發生產

    EVG ? 770特征: 微透鏡用于晶片級光學器件的高 效率制造主下降到納米結構為SmartNIL ? 簡單實施不同種類的大師 可變抗蝕劑分配模式 分配,壓印和脫模過程中的實時圖像 用于壓印和脫模的原位力控制 可選的光學楔形誤差補償 可選的自動盒帶間處理 EVG ? 770技術數據: 晶圓直徑(基板尺寸):100至300毫米 解析度:≤50 nm(分辨率取決于模板和工藝) 支持流程:柔軟的UV-NIL 曝光源:大功率LED(i線)> 100 mW /cm2 對準:頂側顯微鏡,用于實時重疊校準≤±500 n...

  • 上海氮化鎵納米壓印
    上海氮化鎵納米壓印

    EVG ? 610 紫外線納米壓印光刻系統 具有紫外線納米壓印功能的通用研發掩膜對準系統,從碎片到比較大150毫米。 該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻(NIL)。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉換時間*為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求,因此使其成為大學和研發應用程序的理想選擇。 EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,能夠輕松地適應各種材料組合,以用于工作印模和微透鏡材料。...

  • 山西納米壓印推薦型號
    山西納米壓印推薦型號

    EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV納米壓印光刻系統。 用UV納米壓印能力設有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統?技術范圍達150m。這些系統以其自動化的靈活性和可靠性而著稱,以**小的占地面積提供了** 新的掩模對準技術。操作員友好型軟件,**短的掩模和工具更換時間以及高 效的全球服務和支持使它們成為任何研發環境(半自動批量生產)的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻。此外,半自動和全自動系統配置均支持EVG專有的Sm...

  • EVG720納米壓印價格怎么樣「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    EVG720納米壓印價格怎么樣「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    曲面基底上的納米結構在許多領域都有著重要應用,例如仿生學、柔性電子學和光學器件等。傳統的納米壓印技術通常采用剛性模板,可以實現亞10nm的分辨率,但是模板不能彎折,無法在曲面基底上壓印制備納米結構。而采用彈性模板的軟壓印技術可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,實現結構在非平面基底上的壓印復制,但是由于彈性模板的楊氏模量較低,所以壓印結構的分辨率和精度都受到限制。基于目前納米壓印的發展現狀,結合傳統的納米壓印技術和軟壓印技術,中國科學院光電技術研究所團隊發展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復合軟壓印模板的制備方法,該模板包含剛性結構層和彈性基底層。(來自網絡,侵權請聯...

  • **納米壓印圖像傳感器應用「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    **納米壓印圖像傳感器應用「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EVG ? 620 NT特征: 頂部和底部對準能力 高精度對準臺 自動楔形補償序列 電動和程序控制的曝光間隙 支持***的UV-LED技術 **小化系統占地面積和設施要求 分步流程指導 遠程技術支持 多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言) 敏捷處理和轉換工具 臺式或帶防震花崗巖臺的單機版 EVG ? 620 NT附加功能: 鍵對準 紅外對準 SmartNIL μ接觸印刷技術數據 晶圓直徑(基板尺寸) 標準光刻:比較大150毫米的碎片 ...

  • 微接觸納米壓印推薦廠家
    微接觸納米壓印推薦廠家

    納米壓印應用二:面板尺寸的大面積納米壓印 EVG專有的且經過大量證明的SmartNIL技術的***進展,已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為Gen 3(550 mm x 650 mm)的基板上實現。對于不能減小尺寸的顯示器,線柵偏振器,生物技術和光子元件等應用,至關重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經濟、高 效的方法,因為它不受光學系統的限制,并且可以為**小的結構提供比較好的圖案保真度。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。 EVG的納米壓印設備括不同的單步壓印系統,大面積壓印機以及...

  • EVG納米壓印售后服務「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    EVG納米壓印售后服務「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EVG ? 510 HE熱壓印系統 應用:高度靈活的熱壓印系統,用于研發和小批量生產 EVG510 HE半自動熱壓印系統設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。該設備配置有通用壓花室以及真空和接觸力功能,并管理適用于熱壓印的全部聚合物。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,提供了許多用于高質量納米圖案轉印的工藝。 EVG ? 510 HE特征: 用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用 自動化壓花工藝 EVG專有的**對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印 完全由軟件控制的流程執行 閉環冷卻水供應選項 外部浮雕和冷卻站 EVG ? 610也可以...

  • 芯片納米壓印應用「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    芯片納米壓印應用「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    NIL系統肖特增強現實負責人RuedigerSprengard博士表示:“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到300-mm,對于實現我們客戶滿足當今和未來**AR/MR設備不斷增長的市場需求所需的規模經濟產量來說至關重要。通過攜手合作,EVG和肖特彰顯了當今300-mm高折射率玻璃制造的設備和供應鏈的就緒性。”在此之前,使用光刻/納米壓印技術對具有光子學應用結構的玻璃基板進行圖案成形***于200-mm基板。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設備推向大眾消費和工業市場邁出的重要一步。不過,在這些較大的基板上保持高基板質量和工藝均勻性是很難控制的,需要先進的自動化和工藝控制能力...

  • 浙江納米壓印圖像傳感器應用「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    浙江納米壓印圖像傳感器應用「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據客戶的專門需求,公司對這些聚合物作出調整,使其具備其它特征。它們極其適合工業環境,在較短的生產周期時間內粘合各種微小的元件。此外,DELO紫外線LED固化設備與點膠閥的可靠度十分杰出。關于德路德路(DELO)是世界前列的工業粘合劑制造商,總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國、中國、新加坡及日本均設有子公司。2019財政年,公司的780名員工創造了。該公司產品在全球范圍內廣泛應用于汽車、消費類電子產品與工業電子產品。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產品。DELO的客戶包括博世、戴姆勒、華為、歐司朗、西門子以及索尼等...

  • 納米壓印中芯在用嗎「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    納米壓印中芯在用嗎「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV納米壓印光刻系統。 用UV納米壓印能力設有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統?技術范圍達150m。這些系統以其自動化的靈活性和可靠性而著稱,以**小的占地面積提供了** 新的掩模對準技術。操作員友好型軟件,**短的掩模和工具更換時間以及高 效的全球服務和支持使它們成為任何研發環境(半自動批量生產)的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻。此外,半自動和全自動系統配置均支持EVG專有的Sm...

  • 福建納米壓印代理商「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    福建納米壓印代理商「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EVG公司技術開發和IP總監Markus Wimplinger補充說:“我們開發新技術和工藝以應對*復雜的挑戰,幫助我們的客戶成功地將其新產品創意商業化。技術,我們創建了我們的NILPhotonics能力中心。“在具有保護客戶IP的強大政策的框架內,我們為客戶提供了從可行性到生產階段的產品開發和商業化支持。這正是我們***與AR領域的**者WaveOptics合作所要做的,以為*終客戶提供真正可擴展的解決方案。” EVG的NILPhotonics?能力中心框架內的協作開發工作旨在支持WaveOptics的承諾,即在工業,企業和消費者等所有主要市場領...

  • 北京半導體設備納米壓印「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    北京半導體設備納米壓印「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    UV納米壓印光刻系統 EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT:具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統 ■高精度對準臺 ■自動楔形誤差補償機制 ■電動和程序控制的曝光間隙 ■支持***的UV-LED技術 ■**小化系統占地面積和設施要求 EVG?720/EVG?7200/EVG?7200LA:自動化的全場納米壓印解決方案,適用于第3代基材 ■體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度 ■專有的SmartNIL?技術和多用途聚合物印章技術 ■集成式壓印,UV固化,脫模和工作印模制作 ■盒帶間自動處理以及...

  • EV Group納米壓印芯片堆疊應用「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    EV Group納米壓印芯片堆疊應用「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    為了優化工藝鏈,HERCULES NIL中包括多次使用的軟印章的制造,這是大批量生產的基石,不需要額外的壓印印章制造設備。作為一項特殊功能,該工具可以升級為具有ISO 3 *功能的微型環境,以確保比較低的缺 陷率和比較高質量的原版復制。 通過為大批量生產提供完整的NIL解決方案,HERCULES NIL增強了EVG在***積NIL設備解決方案中的領導地位。 *根據ISO 14644 HERCULES ? NIL特征: 批量生產**小40 nm *或更小的結構 聯合預處理(清潔/涂層/烘烤/寒意)和SmartNIL ? 體積驗證的壓印技術,具有出色的...

  • 全域納米壓印美元價格「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    全域納米壓印美元價格「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EV Group的一系列高精度熱壓花系統基于該公司市場**的晶圓鍵合技術。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現高精度的壓印。熱壓印是一種經濟高 效且靈活的制造技術,具有非常高的復制精度,可用于**小50 nm的特征尺寸。該系統非常適合將復雜的微結構和納米結構以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。 NILPhotonics?能力中心-支持和開發 NILPhotonics能力中心是經過驗證的創新孵化器。 歡迎各位客戶來樣制作,驗證EVG的納米壓印設備的性能。 EVG開拓了這種非常規光刻技術,擁有多年技術,掌握了NIL,并已在不斷增長的基...

  • 山東實驗室納米壓印「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    山東實驗室納米壓印「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    IQ Aligner?:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統 ■用于光學元件的微成型應用 ■用于全場納米壓印應用 ■三個**控制的Z軸,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),并在壓模和基材之間實現出色的楔形補償 ■粘合對準和紫外線粘合功能 紫外線壓印_紫外線固化 印章 防紫外線基材 附加印記壓印納米結構分離印記 用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后,將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯。 μ-接觸印刷 軟印章 基板上的材料 領取物料,物料轉移,刪除印章 Sm...

  • 奧地利納米壓印「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    奧地利納米壓印「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    SmartNIL技術簡介 SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術,可提供功能強大的下一代光刻技術,幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,因此還可以實現****的吞吐量,并具有顯著的擁有成本的優勢,同時保留了可擴展性和易于維護的操作功能。另外,主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當的時間。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。 岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。奧地利納米壓印 EVG公司技術開發和...

  • 江蘇納米壓印聯系電話「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    江蘇納米壓印聯系電話「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    納米壓印應用一:鏡片成型 晶圓級光學(WLO)的制造得到EVG高達300 mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設備的支持。使用從晶片尺寸的主印模復制來的工作印模,通過軟UV壓印光刻將透鏡圖案轉移到光學聚合物材料中。EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,可以輕松地適應各種材料組合,以用于工作印模和微透鏡材料。EVG系統是客戶進行大批量晶圓級鏡頭復制的優先。岱美作為EVG在中國區的代理商,歡迎各位聯系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。 高 效,強大的SmartNIL工藝提供高圖案保真度,擁有高度均勻圖案層和**少殘留層,易于擴展的晶圓尺寸和產量。江蘇納米...

  • EVG6200NT納米壓印高性價比選擇「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    EVG6200NT納米壓印高性價比選擇「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    為了優化工藝鏈,HERCULES NIL中包括多次使用的軟印章的制造,這是大批量生產的基石,不需要額外的壓印印章制造設備。作為一項特殊功能,該工具可以升級為具有ISO 3 *功能的微型環境,以確保比較低的缺 陷率和比較高質量的原版復制。 通過為大批量生產提供完整的NIL解決方案,HERCULES NIL增強了EVG在***積NIL設備解決方案中的領導地位。 *根據ISO 14644 HERCULES ? NIL特征: 批量生產**小40 nm *或更小的結構 聯合預處理(清潔/涂層/烘烤/寒意)和SmartNIL ? 體積驗證的壓印技術,具有出色的...

  • 甘肅納米壓印推薦型號「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    甘肅納米壓印推薦型號「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EVG ? 510 HE特征: 用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用 自動化壓花工藝 EVG專有的**對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印 完全由軟件控制的流程執行 閉環冷卻水供應選項 外部浮雕和冷卻站 EVG ? 510 HE技術數據: 加熱器尺寸:150毫米 ,200毫米 比較大基板尺寸:150毫米,200毫米 **小基板尺寸:單芯片,100毫米 比較大接觸力:10、20、60 kN 比較高溫度:標準:350°C;可選:550°C 夾盤系統/對準系統 150毫米加熱器:EVG ? 610,EVG ...

  • 湖北納米壓印推薦廠家「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    湖北納米壓印推薦廠家「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EV集團和肖特攜手合作,證明300-MM光刻/納米壓印技術在大體積增強現實/混合現實玻璃制造中已就緒聯合工作將在EVG的NILPhotonics?能力中心開展,這是一個開放式的光刻/納米壓印(NIL)技術創新孵化器,同時也是全球***可及的300-mm光刻/納米壓印技術線2019年8月28日,奧地利,圣弗洛里安――微機電系統(MEMS)、納米技術和半導體市場晶圓鍵合與光刻設備**供應商EV集團(EVG)***宣布,與特種玻璃和微晶玻璃領域的**技術集團肖特攜手合作,證明300-mm(12英寸)光刻/納米壓印(NIL)技術在下一代增強現實/混合現實(AR/MR)頭戴顯示設備的波導/...

  • 全域納米壓印價格怎么樣「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    全域納米壓印價格怎么樣「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    **的衍射波導設計商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group(EVG)進行合作,EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設備的**供應商,以帶來高性能增強現實( AR)波導以當今業界*低的成本進入大眾市場。波導是可穿戴AR的關鍵光學組件。 WaveOptics首席執行官David Hayes評論:“這一合作伙伴關系標志著增強現實行業的轉折點,是大規模生產高質量增強現實解決方案的關鍵步驟,這是迄今為止尚無法實現的能力。” EVG的專業知識與我們可擴展的通用技術的結合將使到明年年底,AR終端用戶產品的市場價格將低于600美元。“這項合作...

  • 本地納米壓印競爭力怎么樣「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    本地納米壓印競爭力怎么樣「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    對于壓印工藝,EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到比較大直徑150 mm。納米技術應用的配置除了可編程的高和低接觸力外,還可以包括用于印章的釋放機構。EV Group專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力,以實現高產量的壓印,該卡盤支持軟性和硬性印模。 EVG610特征: 頂部和底部對準能力 高精度對準臺 自動楔形誤差補償機制 電動和程序控制的曝光間隙 支持***的UV-LED技術 **小化系統占地面積和設施要求 分步流程指導 遠程技術支持 多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言) 敏...

  • 安徽晶圓片納米壓印「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    安徽晶圓片納米壓印「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EVG ? 770特征: 微透鏡用于晶片級光學器件的高 效率制造主下降到納米結構為SmartNIL ? 簡單實施不同種類的大師 可變抗蝕劑分配模式 分配,壓印和脫模過程中的實時圖像 用于壓印和脫模的原位力控制 可選的光學楔形誤差補償 可選的自動盒帶間處理 EVG ? 770技術數據: 晶圓直徑(基板尺寸):100至300毫米 解析度:≤50 nm(分辨率取決于模板和工藝) 支持流程:柔軟的UV-NIL 曝光源:大功率LED(i線)> 100 mW /cm2 對準:頂側顯微鏡,用于實時重疊校準≤±500 n...

  • 北京納米壓印學校會用嗎「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    北京納米壓印學校會用嗎「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EVG ? 620 NT特征: 頂部和底部對準能力 高精度對準臺 自動楔形補償序列 電動和程序控制的曝光間隙 支持***的UV-LED技術 **小化系統占地面積和設施要求 分步流程指導 遠程技術支持 多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言) 敏捷處理和轉換工具 臺式或帶防震花崗巖臺的單機版 EVG ? 620 NT附加功能: 鍵對準 紅外對準 SmartNIL μ接觸印刷技術數據 晶圓直徑(基板尺寸) 標準光刻:比較大150毫米的碎片 ...

  • 半導體設備納米壓印免稅價格「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    半導體設備納米壓印免稅價格「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    納米壓印微影技術可望優先導入LCD面板領域原本計劃應用在半導體生產制程的納米壓印微影技術(Nano-ImpLithography;NIL),現將率先應用在液晶顯示器(LCD)制程中。NIL為次世代圖樣形成技術。據ETNews報導,南韓顯示器面板企業LCD制程研發小組,未確認NIL設備實際圖樣形成能力,直接參訪海外NIL設備廠。該制程研發小組透露,若引進相關設備,將可提升面板性能。并已展開具體供貨協商。NIL是以刻印圖樣的壓印機,像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程。在基板上涂布UV感光液后,再以壓印機接觸施加壓力,印出面板圖樣。之后再經過蝕刻制程形成圖樣。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出...

  • 廣東納米壓印美元價格「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    廣東納米壓印美元價格「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EVG ? 510 HE熱壓印系統 應用:高度靈活的熱壓印系統,用于研發和小批量生產 EVG510 HE半自動熱壓印系統設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。該設備配置有通用壓花室以及真空和接觸力功能,并管理適用于熱壓印的全部聚合物。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,提供了許多用于高質量納米圖案轉印的工藝。 EVG ? 510 HE特征: 用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用 自動化壓花工藝 EVG專有的**對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印 完全由軟件控制的流程執行 閉環冷卻水供應選項 外部浮雕和冷卻站 EVG?770可用于連...

  • 掩模對準納米壓印自動化測量「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    掩模對準納米壓印自動化測量「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    EVG ? 610 紫外線納米壓印光刻系統 具有紫外線納米壓印功能的通用研發掩膜對準系統,從碎片到比較大150毫米。 該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻(NIL)。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉換時間*為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求,因此使其成為大學和研發應用程序的理想選擇。 SmartNIL的主要技術是可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結果。掩模對準納米壓印自動化測...

  • 中芯國際納米壓印用途「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」
    中芯國際納米壓印用途「岱美儀器技術服務(上海)有限公司」

    客戶示范 ■工藝開發 ■材料測試 ■與合作伙伴共同研發 ■資助項目 ■小批量試生產 ■IP管理 ■過程技術許可證 ■流程培訓 →世界前列的潔凈室基礎設施 →**的設備 →技術** →**計量 →工藝知識 →應用知識 →與NIL的工作印模材料和表面化學有關的化學專業知識 新應用程序的開發通常與設備功能的提高緊密相關。 EVG的NIL解決方案能夠產生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,并在顯示器,生物技術和光子應用中實現了許多新的創新。 岱美作為EVG在中國區的代理商,歡...

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