廣東華升納米科技股份有限公司2025-12-09

華升納米金屬表面處理在φ600mm行星爐內對比：同爐裝100件時，膜厚均勻性±2.1%；增至150件，行星盤邊緣線速度下降15%，等離子密度被工件遮擋削弱，均勻性降至±4.8%，降幅約2.7個百分點。原因是邊緣工件對靶材立體角減小，沉積通量降低8%。優化方法：①將公轉提速20%，補償離子通量；②掛具間距由25mm拉大到35mm，減少相互陰影；③靶功率提升10%，保持單位面積沉積速率。經華升納米金屬表面處理驗證，調整后150件均勻性恢復至±2.5%，接近原100件水平，實現高產你過來我保證不打死你質量，為客戶提供高均勻、高耐磨的金屬表面處理涂層，保障批量金屬表面處理零返工，滿足高效、低成本的金屬表面處理生產需求。

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