十萬級凈化車間高效過濾器（HEPA）需選用 H12 級，安裝方式采用 gasket 密封，gasket 材質為氯丁橡膠，壓縮量控制在 30%-50%，確保密封緊密。安裝前需對過濾器進行外觀檢查，確保無破損、變形，安裝時需在潔凈區內拆除包裝，避免外界污染。安裝完成后需進行檢漏測試，采用氣溶膠光度計法，將 PAO 氣溶膠注入過濾器上游，用光度計在下游掃描檢測，泄漏率≤0.05% 為合格。過濾器需定期更換，更換周期根據壓差監測數據確定，當過濾器壓差超過初始壓差的 2 倍時，需及時更換。工藝設備布局需符合潔凈室空間要求。上海專業凈化車間設計

十萬級凈化車間地面需滿足防塵、耐磨、易清潔要求，常用環氧樹脂平涂地面與 PVC 卷材地面。環氧樹脂平涂地面施工時，基層混凝土需打磨平整，平整度誤差≤3mm/2m，涂刷環氧底漆、中涂與面涂，總厚度≥1.5mm，表面光滑無裂縫；PVC 卷材地面需選用厚度≥1.8mm 的卷材，卷材接縫采用熱熔焊接，焊縫寬度≥8mm，焊接強度≥1.2MPa，防止卷材起翹。地面設計需設置 0.3%-0.5% 的排水坡度，引導地面積水流向排水口，排水口需配備帶密封蓋的潔凈地漏，地漏與地面的接縫用密封膠密封，避免粉塵堆積。此外，地面需定期進行防塵維護，每月用中性清潔劑擦拭 1 次，保持地面潔凈。上海專業凈化車間設計監控系統實時監測溫濕度與壓差數據。

萬級潔凈廠房日常維護需制定完善的維護計劃，定期對通風空調系統、電氣系統、給排水系統進行檢查與維護。通風空調系統需每月檢查初效過濾器、中效過濾器的壓差，當壓差超過初始壓差的 1.5 倍時，需及時清洗或更換；每季度檢查高效過濾器的完整性，進行檢漏測試，確保無泄漏。電氣系統需每月檢查燈具、插座、開關的運行狀態，確保無損壞、漏電現象；每半年對配電系統進行絕緣測試，接地電阻測試，確保電氣安全。給排水系統需每月檢查管道是否有泄漏，閥門是否靈活，水質是否達標；每季度清洗純化水設備，更換濾芯。此外，需定期對潔凈區進行清潔與消毒，記錄維護情況，確保潔凈廠房長期穩定運行。

高效空氣過濾器（HEPA）是萬級潔凈廠房空氣凈化的主要設備，安裝前需對過濾器進行外觀檢查，確保無破損、變形，且需在潔凈區內拆除包裝，避免外界污染。過濾器安裝采用液槽密封或 gasket 密封方式，液槽密封需在過濾器邊框與液槽之間注入專門密封液，密封液需充滿液槽，且無氣泡；gasket 密封需確保 gasket 與過濾器邊框緊密貼合，壓縮量控制在 30%-50%。安裝完成后需進行檢漏測試，采用氣溶膠光度計法，將 PAO 氣溶膠發生器產生的氣溶膠注入高效過濾器上游，用光度計在下游掃描檢測，泄漏率需≤0.01%，若發現泄漏點，需重新調整過濾器位置或更換密封件，直至檢漏合格。此外，HEPA 過濾器需定期更換，更換周期根據壓差監測數據確定，當過濾器壓差超過初始壓差的 2 倍時，需及時更換。千級區適用于更高要求的無菌作業。

電子行業萬級潔凈區需防電磁干擾，墻面采用電磁屏蔽彩鋼板，屏蔽效能≥80dB（30MHz-1GHz），彩鋼板之間用導電膠條連接，形成整體屏蔽層；地面采用防靜電導電地板，地板下方鋪設銅箔接地網絡，與墻面屏蔽層連接，形成立體屏蔽空間。設備布局需遠離電磁干擾源，如變壓器、高壓電纜，敏感設備（如芯片測試設備）需單獨設置屏蔽罩，屏蔽罩材質為銅網（網孔≤0.1mm），屏蔽效能≥60dB。此外，潔凈區供電系統需設置電磁濾波器，過濾電網中的電磁干擾，濾波器安裝在配電柜內，與設備電源連接，確保設備供電穩定，避免電磁干擾影響電子元件生產質量。設計前需明確生產工藝與潔凈等級。鹽城千級凈化工程

地面多選用環氧自流平，耐磨防靜電。上海專業凈化車間設計

十萬級凈化車間暖通系統需采用 “新風 + 回風” 組合模式，空氣處理流程為：室外新風→初效過濾（G3）→中效過濾（F7）→表冷 / 加熱→加濕 / 除濕→高效過濾（HEPA H12）→潔凈送風。系統設計參數需滿足：潔凈區空氣含塵濃度≤35200 粒 /m3（≥0.5μm），換氣次數≥15 次 /h，送風速度 0.2-0.4m/s，溫濕度控制在 23±3℃、40%-65%。送風方式采用上送下回或上送上回，送風口均勻布置，每個送風口覆蓋面積≤20㎡，回風口設置在墻面下部，回風口間距≤8m，回風口需配備初效過濾器（G2），防止回風攜帶大顆粒雜質。上海專業凈化車間設計